판매용 중고 FEI Helios NanoLab 450S #293754850
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FEI Helios Nano Lab 450S는 도전적인 기판에 초소형 기능을 제작하기 위해 설계된 차세대 이온 밀링 장비입니다. 시스템의 핵심에는 헬리오스 (Helios) 고해상도 이온 (ion) 열이 있으며, 밀링 해상도는 10nm이며, 높은 전류 이온을 사용하여 10nm 정밀도까지 패턴화할 수 있습니다. 높은 종횡비 구조, 접촉 구멍, 참호, 선, 공동과 같은 복잡한 재료에 피쳐를 제작하는 데 이상적입니다. 이 장치에는 자동 로드 락 (loadlock) 및 진공 펌핑 머신 (vacuum pumping machine) 이 있어 장기간 지속되고 오염을 피할 수 있습니다. 4 개의 스핀들 각각에는 적응 식 광학 장치 (adaptive optics) 가 장착되어 있으며, 사용자는 밀링 빔을 조정하여 전력 소비가 최소화 된 매우 정밀한 밀링 (milled) 기능을 생산할 수 있습니다. 또한, 내부 가스 격리 도구 (internal gas containment tool) 는 밀링 중에 기판의 최대 안전 및 보호를 제공합니다. 유효 빔 에너지 범위는 50eV - 30keV이며 에너지 안정성은 1% 내에 있습니다. 통합 된 전동 x-y 스테이지는 샘플 면적이 150x150mm 인 기판에서 샘플의 정확하고 정확한 정렬을 가능하게합니다. 마지막으로 에셋은 대화형 (interactive) 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 통해 외부 컴퓨터에서 모델을 완전히 제어할 수 있습니다. 결론적으로, Helios Nano Lab 450S는 도전적인 기판에서 정확한 기능을 생성 할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 이온 밀링 장비입니다. 고급 기능에는 고해상도 이온 열, 자동로드 잠금 및 진공 펌핑 시스템, 적응 광학, 통합 가스 격리 장치, 유효 빔 에너지 범위 (50eV - 30keV) 및 대화형 그래픽 사용자 인터페이스가 포함됩니다. 이 기계 는 "콘택트 홀 '," 트렌치', 선, 동굴 등 여러 가지 용도 를 위한 신빙성 있고 정밀 한 "이온 밀링 '을 찾는 실험실 과 산업 에 적합 하다.
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