판매용 중고 FEI Helios NanoLab 1200HP #9250534

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ID: 9250534
웨이퍼 크기: 12"
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" Electron column: Elster column, field emission gun Beam voltage: SEM: 350 V - 30 kV Ion column: Tomahawk, Ga liquid metal 1,500 Hours FIB: 500 V - 30 kV FIB Current: 1 pA - 65 Na Image resolution: SEM: Visual resolution < 1.4 nm at 1 kV / 11 pA Mode ll WD 1.0 mm Visual resolution < 1.0 nm at 15 kV / 11 pA Mode ll WD 4-5 mm FIB: Visual resolution < 4.0 nm at 30kV / 1.1 pA 5-Axes motorized stage (Tilt eucentric) Load 8" / 12" wafer Detectors: TLD Detector ICE Detector STEM I Detector OmniProbe 200 Plucker Gas injection system: Platinum deposition IDEP lll Deposition.
FEI Helios Nano Lab 1200HP는 혁신적인 이온 밀링 장비로, 나노 스케일 정밀 밀링을위한 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 갈륨 소스 이온 및 전자 소스를 모두 갖춘 듀얼 빔 디자인을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 고유 한 절삭 (cuting) 및 구조화 (structuring) 경험을 통해 몇 분 안에 30nm 정도의 작은 크기의 기능과 서피스를 생성할 수 있습니다. 이를 통해 FEI Helios는 3D MEMS/NEMS 구성 요소 및 장치의 생산에 이상적입니다. 이 장치에는 자동 샘플 조작 기계, 조정 가능한 밀링 매개변수, 최적의 작동을 위해 특별히 설계된 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 밀링 매개변수 (mill parameters) 를 빠르게 설정하고, 진행 상황을 관찰하고, 즉석에서 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 도구를 사용하여 밀링 조건을 동적으로 제어할 수 있습니다. 따라서 가공되는 각 부품에 대해 완벽한 매개변수를 사용할 수 있습니다. 또한, 이 자산에는 여러 소스 및 건 (gun) 구성과 최대한의 처리량을 제공하는 고밀도, 폐쇄 루프 (closed-loop) 모션 모델이 포함됩니다. 고급 진공 환경 (Advanced vacuum environment) 은 밀봉 된 환경에서 효과적인 기계 작동을 가능하게하여 오염을 최소화합니다. 챔버에는 고귀한 가스 (일반적으로 아르곤) 가 가득합니다. 피해 보호 및 밀링 속도 증가를 제공합니다. 이 장비에는 온도 조절을 개선하기위한 통합 냉각 시스템도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 광범위한 가스 공급 (gas feed) 을 사용할 수 있으므로 밀링 프로세스를 더 잘 최적화 할 수 있습니다. Helios Nano Lab은 정확성과 생산성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 3축 닫힌 루프 (closed-loop) 모션 머신은 정확한 부품 위치를 보장하며, 고급 모션 컨트롤러는 높은 주파수 이동을 지원합니다. 지능형 자동 튜닝 기능을 통해 사용자는 가공된 각 부품에 대해 최상의 밀링 매개변수를 쉽게 찾을 수 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 충격 방지 하드 축 (shock-resistance hard axes) 및 노이즈 억제 시스템 (noise suppression system) 과 같은 향상된 안전 기능을 제공하여 손상 또는 신체 상해 위험을 최소화합니다. Helios Nano Lab은 micron 및 submicron 구조물의 생산을위한 완벽한 선택입니다. 고급 디자인은 빠른 밀링 시간과 뛰어난 정확도를 가능하게합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 다양한 고급 기능을 통해 전자, 의료, 항공 우주, 반도체 등 다양한 업종의 애플리케이션에 적합합니다. 박막 구성 요소, MEMS 장치 또는 매우 정밀도가 높은 구성 요소를 머시닝할 경우 Helios Nano Lab 1200HP는 신뢰할 수 있고 정확한 머시닝을 제공합니다.
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