판매용 중고 FEI Helios NanoLab 1200 #9312072
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FEI Helios Nano Lab 1200은 크리스탈린 (crystalline) 및 폴리머 나노 입자 (polymeric nanoparticles) 를 포함한 광범위한 재료의 표면을 조작하는 데 사용될 수있는 다재다능한 이온 밀링 시스템입니다. 15 ~ 200 nm 범위에서 나노 스케일 크기를 수정할 수있는 고급 이온 소스입니다. 이 시스템에는 높은 토크 전동 마이크로 마니 풀레이터 (micromanipulator) 와 객관적인 렌즈가 장착되어 있으며, 대상 위치에 집중된 이온 빔 (FIB) 빔의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 현미경의 나노-미크론 (nano-to-micron) 해상도는 샘플 표면 형태를 쉽게 시각화하고 특성화합니다. 최대 2000 oC의 이온 빔 유도 가열은 나노-마이크로 그루브 (nano-to micro-groove) 와 같은 열 미세 구조를 만드는 데에도 사용될 수있다. Helios Nano Lab 1200에는 시스템의 다재다능성을 극대화하기 위해 여러 이온 총 소스가 장착되어 있습니다. 1 차 원천은 액체 금속 (liquid metal) 으로 가열 된 도가니 (crucible) 에 도입되고, FIB (FIB) 에 의한 폭격으로 액체 금속은 기화되고 이온으로 이온화되어 샘플로 향한다. 대안 적으로, 가스상 이온 및 기화 된 액체 금속 이온은 이온 함정에 주입 될 수있다. 이 이온 트랩 (ion trap) 은 정밀한 이온 빔 모양과 크기를 전달할 수있는 분자 이온을 전달하기 위해 사용되므로, 높은 종횡비 구조를 제공합니다. 그런 다음 이온 빔을 조정하여 원하는 표면 지형을 달성하거나 이온 이미징 (ion imaging) 목적을 달성할 수 있습니다. FEI Helios Nano Lab 1200에 사용 된 이중 piezo 스캐너는 샘플 표면의 빠른 3 차원 이미징 및 밀링을 허용합니다. 작업 거리, 시야 (field of view), 전압 (voltage) 과 같은 이미징 매개변수를 정확하게 제어하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 정밀한 구조의 제작뿐만 아니라 빠르고 정확한 샘플 특성화가 가능합니다. 또한 Helios Nano Lab 1200은 샘플 표면의 화학, 원소 및 결정질 특성화를위한 통합 이미징 및 분석 도구를 사용합니다. 또한 고급 프로세스 자동화 기능, 이온 빔 밀링 (ion beam milling) 에서 샘플 증착 (sample deposition) 에 이르는 기능, 네트워킹 및 원격 작동을 용이하게 하는 완전한 이더넷 인터페이스 등이 있습니다. 최첨단 기능을 갖춘 FEI Helios Nano Lab 1200은 복잡한 나노 구조를 만드는 신뢰할 수 있고 다양한 도구입니다.
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