판매용 중고 FEI Helios 1200AT AFL #293804496
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FEI Helios 1200AT AFL은 재료 과학, 반도체 제조, 나노 기술 등 다양한 응용 분야에서 정확하고 효율적인 샘플 준비를 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 첨단 기술을 결합하여 탁월한 이미징 및 분석 결과를 얻을 수 있는 고성능 이온 밀링 (ion milling) 기능을 제공합니다. Helios 1200AT AFL 시스템의 중심에는 집중식 이온 빔 (FIB) 열이 있으며, 이 열은 갈륨 이온의 미세한 빔을 생성하여 샘플 표면에서 재료를 정확하게 밀어냅니다. FIB 열에는 고급 광학 및 빔 제어 메커니즘이 장착되어 있어 나노 미터 (sub-nanometer) 해상도로 정확하고 제어된 밀링 프로세스를 보장합니다. 이를 통해 장치가 높은 정밀도로 재료를 제거 할 수 있으며, 이는 TEM (Transmission Electron Microscopy) 분석을위한 매우 얇은 표본을 만들거나 회로 편집 응용 프로그램을위한 데 이상적입니다. FEI Helios 1200AT AFL 기계의 주요 기능 중 하나는 ATR (Automated Target Recognition) 및 AFL (Auto Focus Lithography) 기능을 수행하는 기능입니다. ATR (ATR) 기능을 사용하면 샘플 서피스에서 특정 피쳐를 자동으로 찾고 식별할 수 있으며, 밀링 또는 이미징 작업에 대한 정확한 타겟팅을 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 워크플로 효율이 크게 향상되고, 샘플 작성에 소요되는 시간이 줄어듭니다. AFL 기능은 밀링 및 패턴화 프로세스 동안 자동 초점 조정을 제공하여 자산의 석판화 (lithography) 기능을 더욱 향상시킵니다. 이를 통해 최적의 빔 정렬 (beam alignment) 을 보장하며, 높은 정밀도 및 반복성으로 샘플 표면에 미세한 구조와 패턴을 생성할 수 있습니다. 또한 AFL 기능을 사용하면 nanoscale 패턴화와 같은 고급 리소그래피 (lithography) 기술과 사용자 정의 장치 제작을 위한 마스크없는 처리 (maskless processing) 를 수행할 수 있습니다. 고급 밀링 및 리소그래피 기능 외에도 Helios 1200AT AFL 모델은 광범위한 샘플 특성을 지원하기 위해 다양한 이미징 및 분석 기능을 제공합니다. 이 장비에는 지형 이미징 및 원소 분석을 위해 SEM (High-Resolution Scanning Electron Microscope) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 나노 스케일 해상도에서 샘플 표면을 검사 할 수 있습니다. SEM 기능은 FIB 밀링 기능을 보완하여 구조 정보 (structural information) 와 화학 정보 (chemical information) 간의 상관 관계를 분석하여 샘플 구성에 대한 자세한 이해를 지원합니다. 또한 FEI Helios 1200AT AFL 시스템에는 원소 매핑 및 구성 분석을위한 에너지 분산 X- 선 분광계 (EDS) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 샘플의 심층적 인 화학적 특성화, 고감도, 공간 해상도로 원소 조성을 식별하고 정량화 (quantify) 할 수 있습니다. FIB 밀링, SEM 이미징 및 EDS 분석 기능의 조합으로, 이 장치는 광범위한 연구/개발 애플리케이션을 위한 다용도 도구입니다. 결론적으로, Helios 1200AT AFL 이온 밀링 머신은 견본 준비, 이미징 및 분석을위한 고급 기능을 제공하는 정교하고 다양한 도구입니다. 정확한 밀링, 자동 목표 인식, 리소그래피 기능, 종합적인 분석 기능으로 인해 재료 과학, 반도체 기술, 나노 기술 등 다양한 분야에서 일하는 연구원 및 엔지니어에게는 필수 불가결한 도구입니다. 이 툴의 고성능, 자동화 기능, 유연성 등은 복잡한 샘플 준비 워크플로우 (preparation workflow) 에서 효율적이고 안정적인 결과를 얻을 수 있는 이상적인 솔루션입니다.
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