판매용 중고 FEI Helios 1200AT AFL #293600559

ID: 293600559
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2013 vintage.
FEI Helios 1200AT AFL은 다양한 표면에서 초박막 제거를위한 고급 이온 밀링 시스템입니다. FEI Helios Series의 일부인 이 도구는 정밀도와 속도의 독특한 조합을 제공합니다. 헬리오스 1200AT AFL (Helios 1200AT AFL) 은 이온 에너지가 낮은 매우 높은 필름 제거 속도를 달성하는 기능을 포함하여 많은 중요한 이점을 제공합니다. 또한 0.1nm에서 2,000nm 사이의 두께에 이르기까지 매우 정확한 필름 밀링 (milling) 을 제공하며, 프로세스의 제어성을 옹스트롬 (angstrom) 수준으로 향상시킵니다. 또한 이 도구는 생산성 및 대규모 프로세스 윈도우 최적화를 제공합니다. FEI Helios 1200AT AFL은 단일 고해상도 전자 열을 기반으로합니다. 이 열을 사용하면 강력한 저에너지 이온의 감지 및 초점을 맞출 수 있으므로 초박막 (ultra-thin film) 및 고해상도 밀링 어플리케이션에 이상적입니다. 이 도구에 사용되는 이온 소스 (ion source) 는 조정 가능한 조리개 유형으로, 최적의 제어 밀링을 위해 조리개 크기와 정확도를 조정하는 기능을 제공합니다. 이것 은 "필름 '의 특성 과 조작 을" 옹스트롬' 수준 까지 내리도록 한다. 재료 선택성 향상을 위해 Helios 1200AT AFL에는 10 keV ~ 500 keV 범위의 다양한 빔 에너지가 포함되어 있어 최고 품질의 밀링을 달성하기위한 강력한 도구입니다. FEI Helios 1200AT AFL은 다양한 기판의 재료 특성을 유지하는 데 최적화되어 있으며, 최대 사용 편의성도 제공합니다. 이 시스템에는 자동 정렬 (automated alignment) 시스템이 장착되어 있으며, 일단 보정되면 수동식 (manual optic) 조정이 필요없습니다. 마지막으로 Helios 1200AT AFL에는 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스와 모바일 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 즉, 프로세스를 최적화하고 제어하는 강력한 제어 메커니즘을 제공하며, 데이터 수집, 분석, 관리를 위한 안전한 프로토콜을 제공합니다.
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