판매용 중고 CUSTOM Ion Beam Depostion #9140925
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ID: 9140925
빈티지: 1987
System
Internal dimension: 41.5" x 27"
(1) Ion Tech MPS5001 power supply
(1) ION TECH 15cm ion beam gun
Substrate rotation system: Two sets at different coating distances. The upper is 3 planets of approximately 6.5" squares. The lower 3 planets of approximately 6" diameter.
(2) Crystal thickness monitors, one for each of the planetary tooling sets.
Sputtering Target: Max of 2 materials at a time, 10" x 10".
Materials previously used: TiO2, SiO2, HfO2, Si, Al203, B, Ta Cryopump and compressor have been removed. When unit was hooked up to pump and running, the pressure was 2x10-6 Torr and pump-down time was approximately 4 hours.
Valves and controls: Gas metering valves, mass flow controller.
Does not include: Cryopump and compressor or substrate heaters.
1987 vintage.
CUSTOM Ion Beam Deposition (Ion Milling) 은 진공 환경에서 이온이 기판 표면에 증착되는 프로세스입니다. "이온 '은" 기판' 의 표적 물질 을 향해 가속 되는 전자 의 광선 으로부터 생성 된다. 이온은 밀링 챔버 (milling chamber) 에 존재하는 전기 및 자기장 (magnetic field) 에 의해 초당 최대 수백 킬로미터의 속도로 기판을 가로 질러 움직입니다. 밀링 공정은 고도로 제어되어 나노 스케일 (nano scale) 및/또는 초박막 (ultra-thin film) 및 재료를 제작할 때 다양한 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 이온 빔 증착 (IBD) 은 본질적으로 이온 밀링 장비가 제공하는 이온 빔이 기판 표면에 재료를 증착시키는 물리적 증기 증착 (PVD) 의 한 형태이다. 이 증착 방법은 더 정확하며, 두 가지 방법 중 하나로 재료의 CUSTOM 증착을 허용합니다. 첫 번째는 이온 보조 증착 (ion-assisted deposition) 으로 알려져 있으며, 여기서 이온은 증착 중 대상 물질에 활력을 불어 넣어 기판을 더 쉽게 고착 할 수 있습니다. 두 번째는 이온 강화 증착 (ion-enhanced deposition) 으로 알려져 있으며, 이는 이온의 밀도 증가와 기판에 빔 물질의 확산 증가로 인한 증착 속도를 증가시킨다. IBD 시스템에는 일반적으로 이온 소스, 기판, 증착 챔버 진공 시스템, 빔 생성 장치 등 몇 가지 일반적인 구성 요소가 있습니다. 이온 소스는 이온의 빔을 생성하는 장치입니다. 이것은 일반적으로 고전압 음성 이온 소스입니다. 기질은 금속, 반도체, 안경, 중합체와 같은 여러 재료가 될 수 있습니다. 그 기판 들 은 진공실 에 삽입 되는데, 그 후 "펌프 '는 거의 진공" 레벨' 까지 내려와서 증착 과정 을 고도 로 제어 할 수 있게 한다. "빔 '생성 기계 는 기판 을 향해" 이온' 의 광선 을 가속 시키는 장치 이다. 이 도구는 일반적으로 전자기장 및/또는 정전기 초점 요소를 사용하여 빔 역학을 제어합니다. 일단 이온이 기판에 도달하면, 그들은 임베딩되고 나노 복합 재료 레이어를 형성합니다. 증착 과정은 압력 (pressure), 전류 (current), 전류 (field intensities) 와 같은 정확한 매개변수 측면에서 면밀히 모니터링 된 섬세한 과정입니다. 퇴적된 레이어의 두께 (thickness) 와 레이어 수 (layers) 및 증착률 (deposition rate) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 커스텀 이온 빔 증착 (CUSTOM ion beam deposition) 은 거의 모든 재료의 CUSTOM 레이어를 생성하는 기능과 함께 CUSTOM 나노 스케일 재료를 제작하는 다용도 도구입니다. IBD는 MEMS, 광학 (optical), 삼지구계 (tribological component) 와 같은 응용 분야에 대한 재료를 제공하고 높은 순서의 분자배열을 제공 할 수 있습니다. 연구자들이 CUSTOM 이온 증착을 통해 실험하고 혁신을 계속함에 따라이 과정은 유아기에 불과합니다.
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