판매용 중고 BALZERS / BPS Cyberite #9363567
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ID: 9363567
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 1999
Ion Beam Deposition (IBD) system, 5"
(2) Chambers
(6) Targets
BROOKS Robot cluster handling
CTI-CRYOGENIC On-Board pumps
1999 vintage.
BALZERS/BPS Cyberite는 미세 구조를 표면으로 제작하는 데 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 그것 은 금속, 도자기, 중합 물질 을 식각 할 수 있는 강력 한 "나노 '부착 도구 이다. 이 "시스템 '은 양쪽 끝 에 2 개 의 커다란 전자 총 을 배치 한 진공실 과 그 중간 에" 플라즈마' 원 을 기반 으로 하고 있다. 음극 총은 이온 빔 (ion beam) 을 생성하여 샘플의 표면을 가로 질러 스캔하고 이온 (ion) 형태의 샘플 물질에서 에너지를 방출합니다. "플라즈마 '원 은 더욱 가속화 되고" 이온' 광선 을 지도 하여 표면 을 조절 할 수 있게 한다. 이온 빔 (ion beam) 은 또한 샘플 표면의 물리적 에칭을 생성하며, 이는 챔버 (chamber) 에 가스를 첨가하고 장치의 컴퓨터 인터페이스를 통해 제어됩니다. 이 샘플은 이온 빔 (ion beam) 에 대한 샘플을 정확하게 배치하도록 조정 할 수있는 마운팅 암 (mounting arm) 에 장착됩니다. 이 기계는 50 nm/min/min의 밀링 레이트에서 이온 밀링이 가능하며, 최소 폭 0.5 nm의 기능을 만드는 데 사용될 수있다. BPS 사이버 라이트 (BPS Cyberite) 는 이온 빔 (ion beam) 에 의해 수정되는 표면의 실시간 이미징을위한 정밀 비전 도구와 통합됩니다. 이 이미징 자산은 저전압 작동을 위해 설계되었으며, 0.1nm까지 피쳐 크기를 감지 할 수 있습니다. 이 기능은 피쳐의 정량적 이미징에 특히 유용하며, 이는 이온 밀링 공정의 효능을 평가하는 데 사용될 수있다. 이 모델에는 샘플의 로드 및 언로드를위한 자동 샘플 (sample) 전송 장비도 장착되어 있습니다. 이 수송 장치 는 여러 가지 컨베이어 벨트 (conveyor belt) 로 이루어져 있는데, 이 "벨트 '는 실험실 에서 이온 빔 챔버 로, 그리고 제분 된" 샘플' 을 제거 할 수 있게 해 준다. 이 수송 장치 (transport unit) 는 또한 밀링 스테이지와 외부 분석 기계 (예: 주사 전자 현미경) 사이의 샘플을 셔틀하는 데 사용됩니다. 안전하고 깨끗한 작업 환경을 보장하기 위해 BALZERS Cyberite에는 통합 가스 감축 도구가 있습니다. 자산은 공기 정화 (air-purification) 와 이온화 시스템 (ionizing system) 을 통합하여 이온 빔 챔버 (ion beam chamber) 와 그 주변이 유독 가스의 흔적에서 벗어나지 않도록 보장합니다. 이를 통해 안전하고 통제된 환경에서 이온 밀링 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 전반적으로 Cyberite는 광범위한 기능을 갖춘 고급 이온 밀링 모델입니다. 복합 나노 구조 (complex nanosstructure) 를 생성하는 데 유용하며 최소 피쳐 크기가 0.5 nm 인 서피스를 생성하는 데 사용할 수 있습니다. 비전 시스템 (vision system) 과 결합된 자동화된 운송 장비는 리서치 및 엔지니어링 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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