중고 VARIOUS (이온 주입기 & 모니터) 판매용

이온 이식 (Ion implantation) 은 반도체 산업에서 널리 사용되는 프로세스로, 전기 특성을 변경하기 위해 실리콘 웨이퍼에 불순물을 도입합니다. 이온 임플란터 (Ion implanter) 는 전자기장을 사용하여 웨이퍼 표면을 향해 가속되고 직접 이온을 지시하는 정교한 기계입니다. 그 들 은 용량, "에너지 ', 각도, 심도 를 정확 하게 제어 하여 매우 정확 하고 반복 할 수 있는 결과 를 가져온다. 다양한 제조업체는 사양과 기능이 다른 이온 임플랜터를 생산합니다. 이러한 제조업체의 예로는 Applied Materials, Axcelis Technologies 및 Varian Semiconductor Equipment Associates가 있습니다. 이러한 제조업체는 다양한 고객 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 유사점 및 모델을 제공합니다 (영문). 이온 임플란터의 장점은 디자인과 기능에 따라 다릅니다. 높은 처리량, 뛰어난 빔 품질, 유연한 매개변수 제어, 고급 모니터링 장비 등의 장점이 있습니다. 모니터링 시스템은 프로세스 안정성과 품질 제어를 보장하기 위해 이온 임플랜터의 필수 구성 요소입니다. 이러한 장치에는 플라즈마 모니터, 빔 전류 모니터 및 웨이퍼 온도 모니터가 포함됩니다. 모니터링 시스템의 한 예는 Varian Semiconductor Equipment Associates가 개발 한 LOI (Lot of Implanters) 입니다. LOI 는 빔 강도와 각도를 모니터링하고, 불일치를 감지하고, 빔을 자동으로 수정 및 조정합니다. 또 다른 예는 Applied Materials에서 개발 한 LOI2 (Lot of Ion Implanters) 로, 임플란트 프로세스를 모니터링하고 최적화하여 임플란트 무결성과 품질을 향상시키는 데 중점을 둡니다. 전반적으로, 이온 임플란터 (ion implanter) 와 그 모니터링 기계는 반도체 제조에서 정확한 제어를 제공하고 이온 이식 공정의 정확성과 효율성을 보장함으로써 중요한 역할을합니다.