판매용 중고 VARIAN VIISta #9265745
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ID: 9265745
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
High current implanter, 12"
Scroll pump missing
2007 vintage.
VARIAN VIISta는 VARIAN Semiconductor Equipment Associates에서 개발하고 배포 한 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. 그것 은 "이온 '농도 가 증가 된 반도체 물질 내 에 영역 을 조성 하도록 설계 되었다. 그것 은 완전 한 자동화 장치 로서, 재료 에 이식 되는 "이온 '의 수 와 종류 를 정확 하고 정확 하게 조절 할 수 있다. VIISta 는 다양한 하이엔드 기능을 구현하여 반도체 업계에서 특히 유용합니다. 첨단 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 지속적으로 이온 이식 수준을 모니터링하고 조절할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 이식 조건을 실시간으로 조정할 수 있으므로 이식 매개변수 (implantation parameter) 를 신속하게 변경해야 하는 작업에 이상적입니다. VARIAN VIISta는 매우 정밀한 빔 광학을 사용하여 균일 한 이온 임플란트를 생성하여 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 수준의 성능을 보장합니다. 이 장치 는 또한 "쿼드루폴 '" 스캐너' 전자 "빔 '을 갖추고 있는데, 이것 은" 임플란트' 의 범위 를 따라 "빔 '을 움직 이는 효율적 이고 믿을 만한 방법 을 제공 한다. 또한 VIISta는 입자 분석 (particle analysis) 및 레이저 산포/카운트 측정 (laser scatter/count measurement) 과 같은 고급 진단 도구를 제공하여 운영자가 이식 된 재료의 진행 상황을 확인할 수 있습니다. 또한, VARIAN VIISta에는 작업의 모든 측면을 제어하는 데 사용되는 강력한 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 도구에는 임플란트 속도를 시뮬레이션 및 분석하는 기능, 용량 요구량 계산 (compute dose rate) 요구 사항, 임플란트 균일성 모니터링 등 이식 프로세스를 최적화하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 또한 광범위한 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 사용자가 임플란트 프로세스의 모든 측면을 추적할 수 있습니다. 전반적으로 VIISta는 강력하고 효율적인 이온 임플란터 및 모니터 기계입니다. 강력한 기능과 고급 소프트웨어 제품군으로, 복잡한 임플랜테이션 (implantation) 작업을 위한 최적의 선택입니다. 중요한 프로세스 모니터링 및 제어 (Control) 기능을 통해 임플란테이션 매개변수를 빠르고 정확하게 튜닝할 수 있으므로 각 실행에서 일관되고 안정적인 성능을 보장할 수 있습니다.
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