판매용 중고 VARIAN VIISta PLAD #293804201
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VARIAN VIISta PLAD는 반도체 제작 및 연구에 전문적으로 사용하도록 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 하이엔드 디바이스는 이온 이식 (ion implanting) 의 탁월한 제어 및 정확성을 제공하며, 임플란트 후 프로세스 제어를 위한 탁월한 분석 도구도 제공합니다. 이 장치의 이온 임플란터 부분은 플라즈마 다이오드 (plasma diode) 를 사용하여 기판으로 편향 및 가속 된 고 에너지 이온을 생성하는 압력 제어 이온 빔 소스입니다. 그것 은 인, 붕소, 비소, 안티몬 을 포함 하여 기질 물질 에 폭 넓은 "이온 '을 정확 하게 투여 할 수 있다. 이온 임플란테이션 프로세스에 대한 시스템 정의는 실시간 상태 모니터링을 제공하는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하여 생성됩니다. 또한, 다목적 진단 시스템은 임플란트 후 모니터링뿐만 아니라 이온 빔의 현장 내 (in-situ) 분석을 허용합니다. 시스템의 모니터 부분에는 패턴 인식 (Pattern Recognition) 인식기 (Recognizer) 하드웨어 및 소프트웨어가 포함되어 있어 프로세스 단계 안정성을 신속하게 분석하고 모든 이상과 불안정성을 감지할 수 있습니다. 이것은 이온 이식 프로세스의 최적화 및 재생성에 도움이됩니다. 또한 IIePM (Ion Induced End Point Measurement) 과 같은 프로세스 모니터링 기술을 사용하면 이온 이식 수율을 높이고 프로세스 안정성을 향상시킬 수 있습니다. VIISta PLAD에는 사용자 친화적인 그래픽 디스플레이가 제공되며, 안정성과 내구성을 모두 갖추도록 설계되었습니다. 첨단 기술 (Advanced Technologies) 과 최첨단 부품 (State of Art Component) 을 사용하여 뛰어난 품질과 긴 수명을 보장합니다. 또한, 이 장치는 다양한 옵션 패키지와 함께 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 사용자 정의 기능을 추가할 수 있습니다. 안전 추가를 위해, 이 장치는 또한 과압 차단 및 항균 필터 (anti-microbial filter) 와 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 결론적으로, VARIAN VIISta PLAD는 뛰어난 정확도, 제어 및 신뢰성을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이 디바이스는 사용자에게 완벽한 정밀도 (precision) 를 제공하며 전체 이온 (ion) 이온 (implantation) 프로세스를 제어하는 한편, 프로세스 최적화를 위한 자세한 보고서도 제공합니다.
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