판매용 중고 VARIAN VIISTa 810XP #9111140

VARIAN VIIISta 810XP 이온 임플란터 & 모니터는 강력하고 다재다능한 혼합 모드 이온 임플란터로, 단일 장비의 가벼운 이온 임플랜테이션과 모니터링 기능을 모두 지원합니다. 그것 은 "실리콘 ', 절연체, 화합물 반도체" 웨이퍼' 와 같은 광범위 한 물질 에 적합 하다. 첨단 전자 디플렉터 시스템 (advanced electron-deflector system) 을 통해 810XP는 웨이퍼에 불순물을 정확하게 도입하여 전자 및 광학 특성을 더 잘 제어 할 수 있습니다. 810XP는 인젝터, 디지털 액세서리 및 선형 가속기로 구성되며, 더 무거운 이온의 경우 최대 160keV까지 추진할 수 있으며, 더 가벼운 이온의 경로는 최대 10MeV입니다. "이온 '이 표적 재료 에 도달 하도록 810XP 에는 두 개 의 독립 빔 광학" 시스템' 이 장착 되어 있어서, 쉽게 제어 할 수 있는 고도 의 전력 을 공급 할 수 있다. 4 단계 질량 분광계와 정전기 결합 플라즈마 소스가있는 VIIISta 810XP의 모니터 유닛 (plasma source) 은 이식 중 오염 이온 수준을 정확하게 모니터링 및 제어 할 수 있습니다. 로컬 환경에 대한 자세한 정보를 제공함으로써, 810XP는 신속한 교정을 통해 도핑 (doping) 프로세스를 정확하게 제어합니다. 또한 VARIAN VIIISta 810XP에는 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 이 장착되어 있어 운영자와 환경의 안전을 보장합니다. 비상 정지 버튼, 연동 시스템, 자동 어두운 렌즈가있는 안전 안경 (Safety Eyewar) 이 포함되어 있어 잠재적 인 방사선 위험으로부터 눈을 보호합니다. 또한, 최적의 프로세스 운영을 보장하기 위해 진공 챔버의 온도, 압력, 자기장에 대한 실시간 모니터링 기계가 있습니다. VIIISta 810XP (VIIISta 810XP) 는 다양한 물질로 광범위한 이온을 이식 할 수 있습니다. 그것은 물질의 통제 된 도핑을 허용합니다. 전자 및 광학 효과를 만들어 성능을 크게 향상시킬 수 있습니다. 810XP는 매우 다재다능하고 강력하므로 여러 업종과 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다 (영문). 810XP는 고급 안전 제어 (Safety Control) 와 결합하여 정확하고 정확한 이온 임플란테이션에 적합합니다.