판매용 중고 VARIAN VIISta 810EHP #9096214

VARIAN VIISta 810EHP는 세계 최고의 반도체 장치 제작 프로세스에 대한 고성능 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 810EHP는 최신 MEMS, SOI 및 고급 CMOS 기술과 높은 생산성과 정밀도를 결합합니다. 810EHP는 완전히 자동화된 '폐쇄 루프 임플란테이션 (Closed Loop Implantation)' 장비를 제공하여 사용자가 임플란트 프로세스를 적극적으로 모니터링하고 제어하여 정확성과 운영 일관성을 높일 수 있습니다. 이 시스템은 빔 에너지 (beam energy) 와 용량을 빠르게 조정하여 경로 길이 (path length), 측면 벽 각도 (side-wall angle), 도펀트 프로파일 (dopant profile) 과 같은 임플란트 특성을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 810EHP는 정교한 멀티 존 (multi-zone), 단일 자석 전원 공급 장치 및 고효율 빔 스캐너를 갖추고 있으며, 정확한 임플란트 제어를 제공합니다. 8 구역 스캐너는 장치에 추가 속도와 유연성을 제공합니다. 또한 810EHP (Advanced Real-Time Analysis) 기능을 통해 임플란트 작업 중에 작동 업체가 빔 안정성과 용량을 조정할 수 있습니다. 내장형, 고해상도, 디지털 슬릿 이미징 생성기를 통해 연산자는 임플란트 (implantation) 동안 임플란트 각도를 모니터링하고 제어할 수 있으며, 이는 원하는 도펀트 프로파일을 달성하는 데 중요합니다. 810EHP는 균일 한 용량으로 일관되고, 정확하며, 반복 가능한 임플란트 프로파일을 생성 할 수 있습니다. 810EHP는 대용량, 고속 생산의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 제품은 강력하고 조용한 냉각기와 고온과 듀티 사이클 (Duty Cycle) 을 위한 장기 가동 안정성을 갖춘 강력한 전원 공급 장치 (Heavy-Duty Power Supply) 를 갖추고 있습니다. 810EHP에는 견고한로드/언로드 메커니즘과 더 빠른 처리량을 위한 조정 가능한 카세트 속도 (Rugged 11-position Wafer Cassette) 도 장착되어 있습니다. 810EHP는 고성능 이온 임플랜터이며, 고급 반도체 장치 제작 프로세스에 대한 정확도, 생산 일관성, 제어가 향상되었습니다. 내장형, 다중 영역 전원 공급 장치 및 고급 디지털 슬릿 이미징 생성기는 정밀도, 안정성 및 반복 기능을 제공합니다. 810EHP는 대용량 고속 (high-volume) 생산용으로 설계되었으며, 강력하고 조용한 냉각 도구와 강력한 전원 공급 장치, 편리한 웨이퍼 카세트, 빠른 처리 속도를 위한 신속한 로드/언로드 메커니즘을 갖추고 있습니다.