판매용 중고 VARIAN Viista 810 #9411062

VARIAN Vista 810 (Varian Vista 810) 은 반도체 장치 제작에서 광범위한 프로세스 요구 사항을 충족시키기 위한 높은 신뢰성, 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. EMC VTL (Virtual Tape Customized Solution) 은 특정 고객 요구 사항을 충족할 수 있는 높은 수준의 프로세스 유연성을 갖춘 완벽한 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 프로토타입을 구성할 때, Vista 810은 복잡한 프로세스의 빠르고 안정적인 특성화와 통합을 통해 전체 제품 검증 흐름을 지원합니다. 이 제품은 유명한 VARIAN 유형 810 아키텍처를 기반으로 설계되었으며, 수년에 걸쳐 테스트되고 입증되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 직관적인 그래픽 도구를 사용하면 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다. Vista 810에는 두 가지 유형의 이온 임플란터가 있습니다. 일반적으로 DC 임플란터라고하는 전통적인 중간 전류 임플란터 및 AC 임플란터라고도하는 고급 고전류 임플란터. 중간 전류 임플랜터의 표준 해상도는 0.1 ° m이며, 이미지 수정 구성 요소 (옵션) 를 사용하여 수정할 수 있습니다. 도핑 프로파일을 정확하게 제어하는 기능은 특허받은 자기 격리 (magnetic septum) 기술로 지원됩니다. Vista 810은 임플란테이션 시스템에서 사용할 수 있는 최고 수준의 이온 균일성을 제공합니다. 첨단 고류 임플란터 (high-current implanter) 는 큰 기판을 임플란트하기 위해 넓은 영역에 중점을 둔 작은 빔을 통해 최대 유연성을 제공합니다. 또한 엄격한 프로세스 제어를 제공하여 전체 기판에 대해 빠른 주기 시간 (rapid cycle time) 과 정확한 이온 균일 성을 제공합니다. 8 구역 빔 장치는 효율적인 임플랜테이션을 위해 빠르고 정확한 빔 추적을 보장합니다. 또한 Vista 810에는 고급 ADIStab 모니터 (ADIStab monitor) 와 자극기 (stimulator machine) 가 함께 제공되어 프로세스 환경의 영향을 동시에 감지하고 형성합니다. 이 툴은 정확하고, 시간 중심, 에너지 중립 (energy-neutral) 모니터링 및 자극 기능을 통해 의도하지 않은 프로세스 변수를 감지하고 제어할 수 있으며, 정확하고 안정적인 프로세스 제어를 제공합니다. 이 자산은 반도체 제작 공정에서 정확하고 효율적인 임플란테이션을 위해 설계되었으며, 정밀한 운영을 위해 다양한 프로세스, 제어, 분석 도구를 제공합니다. 이 모델은 또한 프로세스 보안 모니터링 (process security monitoring) 을 제공하여 최적의 결과를 얻기 위해 올바른 매개변수 조합을 유지합니다. Vista 810은 임플란트 (implant) 프로세스를 시뮬레이션, 분석, 최적화하는 신뢰할 수 있는 툴로서, 비타협적인 신뢰성과 함께 정확하고 정확한 결과를 제공합니다.