판매용 중고 VARIAN Viista 810 #9207919
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VARIAN Vista 810은 첨단 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터 (monitor) 장비로, 다양한 임플란테이션 프로세스에서 정밀하게 사용할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 시중의 다른 시스템에서는 비교할 수 없는 수준의 제어 (control) 와 정확도를 제공합니다. 설계 기능에는 상위 레벨 로딩 시스템, 4 웨이퍼 처리 기능 및 얕은 접합 (shallow junction), 딥 접합 (deep junction) 및 프로파일 증착 제어 (profile deposition control) 와 같은 프로세스에 대한 설정을 매우 다양하고 사용자에게 친숙한 플랫폼에서 사용자 정의 할 수 있습니다. Vista 810은 최대 16 keV의 기능과 최대 4 백만 암페어의 전류를 생성 할 수있는 넓은 빔 전류 범위 (beam current range) 를 갖춘 강력한 이온 임플란터입니다. 통합 자동 정렬 장치 (Integrated Automated Alignment Unit) 와 빔 프로파일 (Beam Profile) 설정을 완벽하게 제어하고 빔 전류를 정밀하게 제어합니다. 또한 Vista 810은 고급 진단 및 모니터링 시스템 (Monitoring Machine) 을 통해 이식된 구조의 성능을 극대화할 수 있습니다. 정확한 빔 프로파일 측정 기능, 고속 위치 제어, 정확한 축 스캐닝 (axial scanning) 및 외부 모니터 (external monitor) 를 통해 효율적인 모드에서 높은 정확도 작업을 수행할 수 있습니다. 이 "도구 '는 또한 산화물 의 범위 에서 경량 의 금속 및 기타 많은 물질 에 이르기 까지, 여러 가지 물질 을 처리 할 수 있을 만큼 다양 하다. Vista 810은 또한 빠른 설치 및 설치 기능을 제공하므로, 운영자는 신속하게 설치 및 실행할 수 있습니다. 자동 교정을 통해 임플랜터가 항상 최고 성능 및 안정성에 최적화됩니다. 또한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하면 현재, 빔 정렬, 스캔 위치, 온도 등의 기능을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이 자산은 다양한 임플란테이션 프로세스 (implantation process) 의 요구를 충족시키기 위해 구축되었으며, 여러 수준의 제어 및 정확성 (control and accuracy) 을 통해 많은 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 효율적인 작동, 견고한 설계, 여러 매개변수를 모니터링 및 제어하는 능력으로 VARIAN Vista 810은 시장에서 가장 많이 찾는 이온 임플랜터 및 모니터 중 하나입니다.
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