판매용 중고 VARIAN VIISta 810 HP #9191582
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ID: 9191582
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Medium current implanter, 12"
Dosing performance:
Range: 1E11-1E16 ions/cm2
Uniformity: ≤ 0.5% (For implant energies > 5 keV)
Repeatability: ≤ 0.5% (Wafer-to-wafer, cassette-to-cassette)
Implant angles:
Tilter: ± 60° in X and Y
Orientation: 0 - 360°
Rotation: Equivalent multi-tilt, quad mode
Angle control accuracy and repeatability:
Beam parallelism: ± 0.1°
X and Y Tilter: ± 0.1°
Orientation: ± 1.0°
Wafer cooling:
200 mm: ≤100°C at 800W Beam power
300 mm: ≤100°C at 900W Beam power
Particles: <0.05/cm2 (Mean value) for particle size > 0.16 µm
Metals contamination:
Heavy metals: ≤ 5 ppm (TXRF)
Aluminum: ≤ 5 ppm (SIMS)
Implant condition: 80 keV, 1e16/cm2
Ion mass resolution:
Energy > 5 kV, M/ΔM = 30
Energy > 20 kV, M/ΔM = 50
Energy > 80 kV, M/ΔM = 85
Mechanical throughput:
200 mm: > 270 WPH
300 mm: > 250 WPH (With buffer and 25 wafer cassette, Steady-state)
2002 vintage.
VARIAN VIISta 810 HP는 고급 이온 임플란터이며, 이식 프로세스를 매우 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 이 임플란터 (implanter) 는 반도체 및 전자 산업에서 사용하기 위한 것으로, 빠르고, 반복 가능하며, 안정적인 성능을 제공할 수 있습니다. VARIAN VIISTA 810HP는 강력한 드라이브 장비 (Drive Equipment) 와 고급 임플란테이션 작업을 수행하기 위한 전용 소프트웨어 (Proprietary Software) 로 구동됩니다. 고전압 소스는 최대 3 Amps의 임플란트 전력을 제공하며, 선택 가능한 빔 전류 범위는 2-500 µA입니다. 이 모델은 더 높은 온도가 필요한 작동을 위해 최대 200 ° C의 온도를 안전하게 수용 할 수 있습니다. 이 이플란터에는 두 개의 개별 빔 분석 시스템 (빔 전류 (beam current) 와 각도를 측정하는 다른 이식 시스템) 이 있습니다. 이를 통해 높은 정확도 이식 작업이 가능하며 선택적 이미터 도핑 (selective emitter doping) 및 가파른 각도 이식 (steep angle implantation) 과 같은 고급 프로세스가 가능합니다. 성능면에서 VIISta 810 HP는 탁월한 처리 속도를 가지고 있으며, 이식 처리량은 시간당 최대 400,000 와퍼입니다. 빠른 속도는 부분적으로 새로운 피드 스루 (feed-through) 부식 패드 디자인으로 인해 입자가 쌓이고 고품질 임플란트가 보장됩니다. 이플란터 (implanter) 는 또한 원격 모니터링 시스템 (remote monitoring system) 을 갖추고 있어 사용자가 기기의 데이터를 액세스하고 원격으로 조정할 수 있습니다. 또한, 이 기능을 사용하면 필요한 경우 편리한 원격 진단 및 장치 복구를 수행할 수 있습니다. 전반적으로, VIISTA 810HP는 반도체 및 전자 산업에서 탁월한 임플란테이션 정확성과 품질 제어를 제공하기 위해 설계된 고급 임플란테이션 머신입니다. 이 제품은 고전압, 고출력 작동, 2개의 별도 빔 분석, 원격 모니터링 도구, 인상적인 처리율을 제공합니다. 이 임플란터 (implanter) 는 모든 산업 이식 작업에 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 도구입니다.
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