판매용 중고 VARIAN VIISta 810 HP #9093342

VARIAN VIISta 810 HP는 VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.에서 개발 한 고성능 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 기계 는 가장 진보 된 "반도체 '제조 공정 의 요구 를 충족 시키고" 이온' 의 이식 에 있어서 더 정밀 하고 더 높은 성능 을 발휘 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 고전압 DC (direct-current) 이온 소스 장치와 통합 웨이퍼 재구성기를 결합한 하이브리드 아키텍처를 갖추고 있습니다. 재구성 장치 (reconstrituter) 는 이온 의 일정하고 일정 한 질 을 보장 해 주며, "웨이퍼 '에 이식 된" 이온' 의 용량 을 정확 하게 조절 할 수 있게 해 준다. 이온 소스 (ion source) 장치에는 소스 (source) 와 임플란트 (implant) 영역의 차폐가 포함되어 있어 안정적이고 안전한 작동이 가능합니다. VARIAN VIISTA 810HP에는 임플란트 용량과 종, 압력, 작동 매개변수, 장치 상태 등 필수 정보를 제공하는 크고 쉽게 읽을 수있는 디지털 디스플레이가 있습니다. 또한 자동 보정 기능 (automatic calibration feature) 은 이식 (implantation) 의 정밀도를 최적화하고 웨이퍼의 이온 분포를 지속적으로 모니터링하고 지정된 공차 내에 유지하도록 도와줍니다. 이 기계에는 고효율 이온 빔 발전기, 기판 지원 DC 이온 소스, 고전압, 강력한 이온 빔 소스를 포함한 여러 이온 소스가 포함됩니다. "빔 '원 은 정확도 와 해상도 가 대폭 향상 되고, 용량 이 더 많아지고, 광선 이 훨씬 적어진다. 이 도구에는 강력한 자산 수준의 진단 도구도 있습니다. 여기에는 다중 빔 광학 매개변수의 분석 및 표시를 허용하는 통합 빔 광학 데이터 모델 (Integrated Beam Optical Data Model) 과 시스템 작동의 결함을 식별하고 분리하는 FDI (Fault Detection and Isolation) 장비가 포함됩니다. 진단 결과 (Diagnostics Result) 는 향후 참조를 위해 보안 디지털 메모리에 저장되며, 시스템 유지 및 개발을 위한 귀중한 데이터를 제공합니다. VIISta 810 HP는 시장에서 가장 발전된 이온 이식 (ion implantation) 솔루션 중 하나이며, 정밀도, 성능 및 안전성의 조합을 제공합니다. 일관성 있고, 품질이 뛰어난 이식 (implantation) 을 보장함으로써 생산량을 극대화하고 비용을 절감할 수 있습니다. 소형이며, 신뢰성이 높고 견고하여 현대 반도체 제작 (semiconductor fabrication) 프로세스에 이상적인 선택입니다.