판매용 중고 VARIAN VIISta 80 #9262465

VARIAN VIISta 80은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 와 반도체 (semiconductor) 부문 등 다양한 산업 분야에 서비스를 제공하도록 설계된 고급 이온 임플란터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 비용 효율적인 방식으로 일관되게 균일하고 신뢰할 수있는 이온 임플란테이션을 생성합니다. VIISta 80은 이온 소스 및 기판의 정확하고 정밀한 조작을 위해 4 축, 고해상도 동작 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 광범위한 에너지 범위 (energy range) 간에 필드 변경이 가능하며, 각 임플란트를 특정 물질의 특정 필요에 맞게 조정할 수 있습니다. 예를 들어, 저에너지 임플란트는 4H-SiC로 이식하기에 우수하지만, 고에너지 임플란트는 반도체에 유용합니다. VARIAN VIISta 80의 이온 소스는 Ar/O2 또는 Xe/O2 화학을 사용하는 이중 양극 기계이며 최대 60kHz까지 실행하여 매우 빠른 처리량을 제공 할 수 있습니다. 이 도구에는 원하는 임플란트 에너지 (implant energy) 에 치우칠 수있는 DC 전원 공급 장치가 있습니다. 최대 2 천 볼트의 에너지를 얻을 수 있습니다. 또한, VIISta 80은 고정밀 빔 변조 (high-precision beam modulation) 를 특징으로하여 임플란트를 뛰어난 정밀도로 기판 크기로 조정할 수 있습니다. VARIAN VIISta 80에는 임플란트의 정확성과 반복 가능성을 보장하는 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 여기에는 실시간 입자 계산, 실시간 종 분석, 범위 종료 용량의 컴퓨터 제어, 범위 종료 용량의 실시간 추적 등이 포함됩니다. 또한 전체 프로세스 감사 (full process audit) 및 진단 보고서 (diagnostic reports) 를 수행하여 필요한 수정 작업을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. 전반적으로, VIISta 80은 비용 효율적인 방식으로 일관되게 정확하고, 균일하며, 신뢰할 수있는 임플란트를 제공하는 고급 이온 임플랜터 및 모니터 모델입니다. 모니터 및 제어 시스템의 최신 기술을 활용하여 VARIAN VIISta 80은 일반 반도체 제작에서 항공 우주 및 자동차 부품 (Aerospace and Automotive Part) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 안전하고 안정적으로 작동합니다.