판매용 중고 VARIAN VIISion 80 #9108723
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VARIAN VIISion 80 (VARIAN VIISion 80) 은 효율성과 생산성을 극대화하기 위해 설계된 기술적으로 진보된 이온 임플란터 및 모니터 장비입니다. 높은 처리 속도 (Hi-Throughput) 생산, 중용량 (Medium-Dose) 장치, 대용량 장치 (Low-Dose Device) 등 다양한 애플리케이션에 다용도로 손쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 동시 이식 및 모니터링을 허용하며, 빔 전류는 최대 2000 마이크로 앰프, 에너지 범위는 12-300keV입니다. 고압 발전기와 임플란트 증폭기 (Implant Amplifier) 를 사용하여이 장치는 300kHz의 놀라운 스캔 속도를 가지므로 빠른 속도로, 높은 정밀도로 이온을 전달할 수 있습니다. 잘 설계된 빔 셔터 (beam shutter) 를 사용하면 빠른 시작 및 종료 주기를 통해 조정 및 조정에 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. VIISion 80은 25 단계 가상 질량 필터를 사용하여 정확한 에너지 선택과 충전 보상 임플란트 및 가스 임플란테이션을위한 다양한 프로파일을 제공합니다. 대상 정밀도를 위해, 기계는 위치, 모양, 전압, 시간 변동 (time to time variation) 과 같은 몇 가지 매개변수로 설계되었습니다. 반도체 카메라와 결합한 멀티필드 광학 (Multi-Field Optical) 도구를 사용하여 정확한 빔 이미징을 구현한다. 또한 단일 열 이미징 광학 장치 (single-column imaging optics) 를 통해 빔 경로를 쉽게 조정하여 최적의 초점을 달성하고 다양한 웨이퍼 크기와 표면을 수용할 수 있습니다. VARIAN VIISion 80은 고급 자산 모니터링 및 진단을 제공합니다. 빔 전압 (beam voltage), 전류 (current) 및 온도를 측정하면 모델이 임플란트 프로파일에 대한 자세한 피드백을 제공하고 필요한 경우 조정할 수 있습니다. 자동 제어 (Automated Control) 장비를 통해 시스템을 원격으로 제어할 수 있으므로 프로세스 확장성과 유연성이 향상됩니다. 마지막으로, 기계는 인력과 장비를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 포함합니다. 전반적으로 VIISion 80은 고도로 고급적이고 효율적인 이온 임플랜터 및 모니터 장치입니다. 고성능 (HPD) 과 정밀도 (Precision) 는 높은 처리량 생산에서 매우 엄격한 사양의 저용량 장치에 이르기까지 다양한 어플리케이션에서 필수적입니다. 또한 고급 모니터링 머신 (monitoring machine) 과 안전 (safety) 기능을 통해 인력과 장비를 보호하는 데 이상적입니다.
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