판매용 중고 VARIAN VIISion 80 #9039543
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판매
ID: 9039543
High current ion implanter, 6"
Safe Gas Delivery System
Cryo, fourth implant chamber
SECS II automation
Two dimensional beam profiler
Angled implant, automatic
Classic End Station
Includes:
+7 to -7 degree wafer tilt angle.
Plasma flood gun.
Horizontal wafer handling.
Full system automation.
Operator touch screen.
Tungsten Bernas ion source.
Silicon coated disc and spillover cup.
3 light signal tower
Source and beamline turbo pumps removed, but they’re both inside the tool
Controller for the beamline pump is removed, but it’s inside the enclosure
Currently the disk and spindle are removed, but all the parts are present for it
Converted to 150mm in 2011
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80은 중간에서 고도의 현재 생산에 적합한 고성능 이온 임플랜터 및 실시간 모니터입니다. 공정에 대한 정확한 온라인 모니터링 (online monitoring) 을 동시에 전달하면서 섬세한 기판에 최대 80mA 의 전류를 이식할 수 있습니다. 전문 엔지니어링은 낮은 에너지와 높은 전류로 안정적이고 반복 가능한 능력을 보장합니다. 즉, 강력한 타겟 최적화를 통해 다양한 수준의 복잡성을 지원할 수 있는 full-crystal 시스템으로 설계되었습니다. 생산성 (productivity) 과 제품 품질 (product quality) 간의 완벽한 균형을 보장하고 운영 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 임플란터에는 다중 레벨 모니터가 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 처리 중에 이온 범위, 프로파일, 빔 배출을 추적할 수 있습니다. VIISion 80은 특허를받은 HDG (High-Definition Gun) 를 특징으로하며, 매우 짧은 폭발 시간과 대상 조직의 공간 제어를 사용합니다. HDG는 HD 프로세서 역할을 하며 에너지, 용량, 공간 제어를 결합하여 본질적으로 정확하고 반복 가능한 용량을 제공합니다. 게다가, 그것의 다양한 임플란트 조합은 정기적으로 기판 요구사항을 변화시키는 다재다능한 도구이며, 가파른 물개 기술은 장기 처리 중 빔 안정성을 증가시킵니다. 그것의 디자인은 다양한 방향으로 이온을 광학적으로 측정합니다. 그런 다음, 시스템은 저각 신호 측정과 고각 신호 측정의 도움을 받아 모든 뷰 각도로 도시 메트리 (dosimetry) 를 재구성 할 수 있습니다. 이 실시간 도시메트리 (dosimetry) 는 프로세스 매개변수를 조정하는 데 필요한 시간을 최소화하면서 더 큰 제어 및 정밀도를 제공합니다. 또한 VARIAN VIISion 80에는 빔 전류, 입자 추적, 정전기 렌즈 및 공간 충전을 모니터링하는 여러 센서가 장착되어 있습니다. 모니터링 시스템에는 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 도 있으므로 사용자는 설정을 빠르게 선택하고 사용하기 쉬운 진단 가이드에 액세스할 수 있습니다. VIISion 80 은 의료, 자동차, 전자 및 반도체 산업에 이상적입니다. 이는 엄격한 품질 관리 기능을 통해 효율적인 생산을 제공합니다. 궁극적으로, 비용 절감, 생산 요구에 대한 안정적이고 일관된 이온 임플란터 (ion implanter) 를 찾는 기업에 대한 마음의 평화를 제공합니다.
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