판매용 중고 VARIAN VIISion 200 #9107069
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VARIAN VIISion 200은 다양한 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 그것 은 두 개 의 "이온 '을 이식 하고 모니터링 할 수 있어서, 반도체" 웨이퍼' 의 도핑 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 바이시온 200 (VIISion 200) 은 제조 목적의 정확성과 신뢰성을 제공하도록 맞춤형 기능을 제공합니다. 이 장비는 선형 인코더 (Linear Encoder) 와 스텝 모터 (Stepper Motor) 를 포함하여 다양한 정밀 스캔 메커니즘을 사용하여 이식 영역에서 매우 미세한 해상도를 제공합니다. 이를 통해 VARIAN VIISion 200은 정확하게 크기의 임플란트를 만들 수 있습니다. 또한, 시스템은 이온 이온 투여량을 정확하게 조정할 수있는 이중 인터페이스 이식 포트 (dual-interface implantation port) 를 갖추고 있습니다. VIISion 200 모니터는 이중 채널 감지 장치를 사용하여 백스캐터 (backscatter) 와 보조 전자 (secondary electron) 를 모두 추적하여 이식 과정의 효과를 자세히 분석합니다. 이 기계에는 추가 제어 및 정확도를위한 빔 강도 모니터도 포함되어 있으며, VARIAN VIISion 200에는 맥박 속도 증가를위한 고전류 임플란테이션 소스도 있습니다. 또한 VIISion 200 은 직관적인 제어판 (Control Panel) 을 통해 작동이 용이하며, 사용자 및 프로세스를 모두 보호하는 수많은 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 보안 도어 센서와 이중 FAF 도구가 포함됩니다. 추가 편의를 위해 VARIAN VIISion 200은 선택적 질소 원과 함께 제공되어 이식 중 소모 된 가스의 양을 줄입니다. 또한 VARIAN MyBioM 소프트웨어를 사용할 수 있으며, 이는 이식 과정의 정확성과 신뢰성을 더욱 높입니다. 전반적으로, VIISion 200은 반도체 제작이 쉽고 효율성을 높이기 위해 설계된, 고급적이고, 안정적이며, 정확한 이온 임플랜터이며, 모니터입니다. 다양한 고급 기능을 갖춘 VARIAN VIISion 200 은 이식 및 모니터링 프로세스를 최적으로 제어합니다.
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