판매용 중고 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON FBR II / HPS-T001 / HT II #9187207

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON FBR II/HPS-T001/HT II는 반도체 제조 장비의 주요 공급 업체 인 TEL에서 개발 및 제조 한 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 장치는 반도체 장치 생산의 속도와 정확도를 높이도록 설계되었습니다. FBR II는 패러데이 케이지 (Faraday Cage) 기술을 활용하는 효율적이고 안정적인 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 수직 패러데이 케이지 (Faraday Cage) 는 이온 전류 정확도와 이온을 균일 한 방식으로 분산시켜 적용 챔버 내에서 균일성을 극대화하는 독특한 나선 유도 렌즈 (helical induction lens) 를 증가시킵니다. FBR II의 높은 수준의 정확도, 안정성, 속도는 반도체 장치 생산에 빠르고 정확한 프로세스를 제공합니다. FBR II는 이온 이식 외에도 내장 모니터링 시스템도 갖추고 있습니다. 이 모니터링 장치는 도구 내에서 다양한 센서와 신호를 사용하여 온도, 오염, 기판 특성 (기판 특성) 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 모니터링 시스템 (monitoring machine) 을 사용하여 전반적인 프로세스 정확도를 높이고 잠재적 실패를 예측할 수 있습니다. 또한 FBR II 는 광범위한 액세서리 (accessory) 와 구성 요소 (component) 를 갖추고 있어 광범위한 반도체 장치 제조 애플리케이션을 수행할 수 있습니다. 임플란테이션, 포토 esist 스트립, 어닐링, 진공 증착, 웨이퍼 테스트 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. FBR II에는 기판 전달 메커니즘, 인라인 기판 히터, 프로그래밍 가능한 드리프트 스크루 (drift screw) 와 같은 다양한 다른 구성 요소가 포함되어 있습니다. 전반적으로, TEL FBR II/HPS-T001/HT II는 효율적이고 신뢰할 수있는 이온 임플랜터 및 모니터링 도구로, 반도체 장치 생산의 속도와 정확도를 높일 수 있습니다. 고급 패러데이 케이지 (Faraday Cage) 와 정확성과 신뢰성을 제공하는 독특한 나선형 유도 렌즈, 프로세스 제어 및 유지보수 (Maintenance) 를 지원하는 내장 모니터링 자산, 유용한 액세서리 어레이 등이 있습니다. 이러한 모든 기능은 다양한 반도체 장치 제조 응용 프로그램에 대한 FBR II의 신뢰성 및 효과에 기여합니다.