판매용 중고 VARIAN Solion+ #9130269

VARIAN Solion + 는 이온 빔 임플란트의 정밀 제어를 위해 설계된 최첨단 이온 임플란테이션 및 모니터링 장비입니다. 웨이퍼 핸들러, 임플랜터 및 모니터, 빔 조작 시스템, RF-DC 하이브리드 분리기 및 대상/전자 총으로 구성됩니다. 웨이퍼 핸들러에는 여러 웨이퍼 인-플레인 (in-plane) 및 아웃-오브-플레인 (out-of-plane) 을 움직이는 동력 메커니즘이 포함됩니다. 임플란터에는 고강도, 다중 모드 이온 소스, 정교한 초점 장치, 다양한 이온 종 (ion species) 을 이식하기위한 광범위한 액세서리 구성 요소가 포함됩니다. 이 모니터에는 실시간 시각적 피드백 및 제어가 포함된 고급 빔 프로파일 모니터링 머신 (advanced beam profile monitoring machine) 이 포함되어 있습니다. 빔 조작 도구 (beam manipulation tool) 에는 위치 및 에너지 스캔을위한 강력한 제어 에셋 (power control asset) 과 임플란트 조건을 정확하게 제어하는 광범위한 빔 조작 구성 요소가 포함됩니다. RF-DC 하이브리드 분리기 (hybrid separator) 는 우수한 해상도를 위해 설계되었으며, 다양한 전압 및 분리기 전압과 함께 양성 및 음성 이온 임플란테이션에 모두 사용될 수 있습니다. 대상/전자 총 모델을 사용하면 원하는 이온 임플란트 프로파일을 최적으로 분석 할 수 있습니다. 솔리온 + (Solion +) 은 높은 수준의 제어 및 유연성을 제공하여, 고유한 애플리케이션마다 이온 임플란트 (ion implant) 조건을 사용자 정의할 수 있습니다. 전압, 전류, 빔 에너지, 빔 스팟 크기, 빔릿 강도, 빔릿 위치 등의 매개변수를 조정하여 임플란트 프로파일을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 과전압 보호 (over-voltage protection) 및 백업 전원 공급 장치 (back-up power supply) 와 같은 내장 안전 기능을 제공하여 안전한 작동을 보장합니다. 결론적으로, VARIAN Solion + 는 강력한 이온 임플란터 및 모니터링 시스템으로, 정확한 임플란트 컨디셔닝을 위해 뛰어난 제어 및 유연성을 제공합니다. 정교한 빔 조작 장치, RF-DC 하이브리드 분리기 및 대상/전자 건으로, Solion + 는 모든 응용 프로그램에 대한 임플란트 조건을 사용자 정의하는 다양한 옵션을 제공합니다.