판매용 중고 VARIAN HC Disk for VIISion #9220932

VARIAN HC Disk for VIISion은 프로세스 제어 정확도와 처리량을 높이기 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. HC 디스크는 고전류 및 초고전류 임플란터, 인라인 증착 시스템, 증착 장비 등 VIISion 툴과 호환되는 웨이퍼 처리 시스템입니다. 모든 임플란트 (Implant) 및 포스트 임플란트 (Post-Implants) 매개변수의 현장 사용자 정의를 위한 강력하고 사용이 간편한 인터페이스를 제공합니다. HC 디스크 (HC Disk) 를 사용하면 프로세스 엔지니어가 보다 정밀하게 임플란트 조건과 매개변수를 제어할 수 있으므로 이식 프로세스의 수율과 품질이 높아집니다. Open Architecture 는 HC 디스크를 모든 하드웨어/소프트웨어와 통합하여 기존 시스템/장비와의 완벽한 호환성을 제공합니다. 단순한 디자인은 2 피스 링을 기반으로하며, 쉽게 교환 할 수 있습니다. HC 디스크는 이온 빔 전달 및 웨이퍼 프레젠테이션을 하나의 장치로 결합합니다. 동적 스캔, 고정 스캔, 3축 기울기 등 다양한 모션 제어 기술을 갖추고 있습니다. 동적 스캔 (Dynamic scan) 을 통해 빔의 끝점, 용량 및 방향을 제어할 수 있으며, 고정 스캔을 통해 임플란트 매개변수를 빠르고 정확하게 제어할 수 있습니다. 3축 기울기는 웨이퍼 평면도와 정렬을 월등히 제어합니다. 또한 HC 디스크 (HC Disk) 는 특허를 획득한 푸시 온 (push-on) 연결을 통해 이식 가능한 디스크를 빠르고 쉽게 연결할 수 있습니다. HC 디스크 (HC Disk) 는 다양한 임플란트 매개변수와 웨이퍼 크기를 손쉽게 처리하도록 설계되었습니다. 또한 수정, 필름 등 다양한 임플란트 소스를 수용 할 수 있습니다. HC 디스크는 Cleanroom과 호환되며, 임플란트 프로세스 매개변수를 명확하고 정확하게 시각화합니다. HC Disk 는 3D Visualization 소프트웨어, 시뮬레이션용 오프라인 소프트웨어, 다양한 시스템 수준 모니터링 툴 등 다양한 고급 툴을 통해 지원됩니다. 즉, 통합 지원 시스템을 통해 임플란트 (implant) 프로세스를 모니터링, 관리하고 중요한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 통합 소프트웨어는 또한 원격 제어 (remote control) 를 지원하며, 모든 위치에서 전체 임플란트 프로세스에 대한 원격 액세스를 제공합니다. HC Disk for VIISion (HC Disk for VIISion) 은 강력하고 유연한 이온 임플랜터이며 프로세스 제어를 극대화하고 다운타임을 줄이기 위해 설계된 모니터입니다. 운영 편의성, 견고한 개방형 아키텍처, 광범위한 자동화 (automation) 기능을 통해 임플란트 (implant) 프로세스에 이상적인 솔루션을 선택할 수 있습니다.