판매용 중고 VARIAN / GENUS 1510 / 1520 #9228263

속 1510 및 1520은 이온을 기질로 이식 및 모니터링하는 데 사용되는 장치입니다. 반도체 및 나노 기술 기반 제조 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 1510 년은 기판에 정확하게 이온 (ion) 으로 이루어진 집중된 빔을 제공하는 반면, 1520 년은 이식 된 빔의 매개변수를 측정하기 위해 사용되는 이온 시폰 (siphon) 형 모니터입니다. VARIAN 1510 (VARIAN 1510) 은 기질에있는 2 개의 양극 각각에 대한 독립적 인 제어 및 표면에 걸친 이온의 짝수 분포를 허용하는 이중 음극 기술을 특징으로합니다. 이것은 프로세스 전반에 걸쳐 균일하고 일관된 임플란테이션을 보장합니다. 일부 주요 기능에는 빔 정확도 향상을위한 자동 정렬 빔 정렬 시스템 (auto-align beam alignment system), 다른 기판을위한 조절 가능한 임플란트 에너지, 더 빠른 기판 처리를 위해 조정 된 프로세스 시간이 포함됩니다. 반면, 1520 이온 모니터는 민감하고 신뢰할 수있는 이온 게이트를 특징으로하여 이식 된 빔의 이온 전류 (ion current) 및 이온 플럭스 속도 (ion flux rate) 를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이는 프로세스의 정확성을 보장하는 데 도움이 되며, 고품질 반도체 디바이스를 달성하는 데 필수적입니다. 또한 1520은 전체 양수/음수 플럭스, 피크-피크 두께 및 임플란트의 이온 품질을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 결론적으로, VARIAN/GENUS 1510 및 1520은 반도체 및 나노 기술 산업의 이온 이식 및 프로세스 모니터링을위한 필수 도구입니다. 정확하고 정확하며 반복 가능한 (repeatable) 작업을 통해 고품질 디바이스를 최소한의 노력으로 제조할 수 있습니다. 이러한 이유로, 그들은 모든 프로세스 엔지니어의 툴킷의 필수 부분입니다.