판매용 중고 VARIAN EHP-500 #9315482

VARIAN EHP-500 Ion Implanter and Monitor는 고성능 이온 임플란터이며 다양한 기능을 갖춘 모니터입니다. 저밀도 (low-duty) 및 고밀도 (high-duty) 주기 모두에서 고밀도 임플란테이션과 정밀 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. VARIAN EHP500 은 독립형 임플랜터로, 또는 프로세스 제어 장치로 구성하여 최대 수준의 성능과 유연성을 제공합니다. EHP 500은 고해상도 디지털 이온 에너지 분광계 (digital ion energy spectrometer) 와 디지털 질량 분광계 (digital mass spectrometer) 를 포함한 여러 가지 고급 기술을 사용하여 이식 된 이온 종과 용량의 빠르고 정확한 측정을 수행합니다. 이 시스템은 또한 높은 충실도 입자 일치 엔진 (high fidelity particle match engine) 을 통해 최적의 균일성과 정밀도를 위해 이식 프로세스를 빠르고 효율적으로 최적화 할 수 있습니다. EHP-500은 또한 고급 이온 광학 기능과 WDR (Wide Dynamic Range) 제어를 통해 균일성과 정밀도에 대한 가변 빔 스캔을 구현할 수 있습니다. VARIAN EHP 500은 이식 및 프로세스 제어에 높은 정확도를 제공하는 여러 가지 고급 자동 기능을 사용합니다. 이 시스템은 프로그램 가능한 고압/저전압 생성기와 고속 자동 스텝 (autostep) 모듈을 사용하여 가변 속도 임플란테이션을 수행합니다. 높은 전력, 컴팩트 한 이온 소스를 사용하면 위치 정확도가 우수한 높은 속도로 낮은 에너지 이온을 이식 할 수 있습니다. EHP500은 또한 웨이퍼의 정확한 이식 후 청소를 제공합니다. VARIAN EHP-500 시스템은 프로세스 및 매개변수를 원격으로 모니터링하는 기능, 그리고 이식 프로세스에 대한 실시간 피드백 (feedback) 을 제공하는 기능 등 다양한 모니터링 기능을 제공합니다. 이 모니터링 기능은 고급 (Advanced) 통합 데이터 로거 (Integrated Data Logger) 에 의해 한층 강화되어 임플란테이션 프로세스와 관련된 모든 프로세스 매개변수 및 결과를 기록합니다. 그런 다음 이 데이터를 이더넷 인터페이스를 통해 원격으로 액세스하고 분석하거나 사용자 인터페이스 (옵션) 를 사용하여 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN EHP500 Ion Implanter and Monitor는 고성능 이온 임플란터이며, 사용자의 최대 프로세스 제어, 정밀도 및 유연성을 제공하는 모니터입니다. 고급 이온 (ion) 광 기능, 다양한 동적 범위 제어 기능, 고급 통합 데이터 로거 (Integrated Data Logger) 를 통합하여 최적의 성능 및 최적의 이식 결과를 제공합니다.