판매용 중고 VARIAN EHP-500 #9215996
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판매
ID: 9215996
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Medium current ion implanter, 8"
Mirror 60 Kv PSu: E110002
Gas box configuration:
Gas box type: SDS
Gas line 1 = PH3
Gas line 2 = AsH3
Gas line 3 = BF3
Gas line 4 = Ar
Pumps configuration:
VARIAN V300HT Resolver turbo pump
Endstation CRYOPUMP CTI on-board 10
CTI 9600 Compressor
Loadlock turbo pump VARIAN V300HT
EBARA Endstation dry pump: 50 x 20
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Electrical facility requirements
208 V, 3 Phase, 5 wire 43.2 KVA 120 FLA
200A Main CB 42,000 AIC 60 Hz
75A Maximum single load
250kV Maximum beam energy
1998 vintage.
VARIAN EHP-500은 고정밀 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 중장비는 이온 소스, 고전압 전원 공급 장치, 추출기, 스캔 자석, 디플렉터 어셈블리, 패러데이 컵 및 빔 모니터를 사용합니다. 이온 소스는 고에너지 이온 (ion) 을 생성하는데, 이는 고전압 전원 공급 장치에 의해 원하는 에너지로 가속됩니다. 그 다음 에 이 "에너지 '는" 이온' 광선 을 조절 하는 데 사용 되는 자기 조립체 인 추출기 에 의해 최적화 된다. 스캔 자석 (scan magnet) 은 이온 빔을 제어하고 스캔하는 데 사용되는 어셈블리이며, 디플렉터 (deflector) 어셈블리는 이온 빔의 궤적을 형성하는 데 사용됩니다. 다음으로, 빔은 패러데이 컵 (Faraday cup) 을 통과하여 빔의 강도를 측정합니다. 마지막으로, 이온 빔은 빔 모니터를 통과하여 빔의 전류, 전압, 에너지에 대한 피드백을 제공합니다. 이 기구 는 "이온 '광선 을 제어, 모니터링, 형성 하는 능력 을 가지고 있어서, 고도 의" 이온' 착상 및 모니터링 을 위한 이상적 인 선택 을 한다.
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