판매용 중고 VARIAN EHP-500 #9015612
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판매
ID: 9015612
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Medium current ion implanter, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: 8" plastic Miraial
No SMIF interface
Power distribution: 208 V, 60 Hz, 75 kVA, 3 phase Y-connection
Control system: 1 GHz computer
Software version: 13.43.29
Beam energy:
5-250 keV (single charged ion)
250-500 keV (double charged ion)
500-750 keV (triple charged ion) auto accel/decel mode
Gasbox 1: Ar HP external supply
Gasbox 2: BF3 HP
Gasbox 3: ASH3 SDS
Gasbox 4: PH3 SDS
Cryo pump: Daikin MARATHON-12 V28MC612SMR
Cryo compressor: Daikin U108CW
TMP: Edwards STP-1000C
TMP 2: Edwards STP-1000C
TMP 3: Seiko STP-300C
TMP 4: (2) Varian V-300HT
Ion source: Bernas type, W-Arc chamber
No dual vaporizer
No beam reducer
Platen: E-CLAMP composite
1998 vintage.
바리안 EHP-500 (VARIAN EHP-500) 은 다양한 표면 처리를 생산 및 제어 할 수있는 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터로, 다양한 제조업체가 다양한 물리적 특성을 가진 재료를 처리 할 수 있습니다. 통합 흑연 포커서, 확장 심도 전자 미니어처 이온 소스, 특허 절연 이온 소스 차폐 장비가 특징입니다. 바리안 EHP500 (VARIAN EHP500) 의 강력한 흑연 포커서는 기판의 거의 및 먼 표면에서 높은 균질 한 전력 밀도를 제공 할 수 있으며, 비슷한 시스템보다 더 높은 정밀도와 제어를 제공합니다. 또한, 확장 된 깊이 미니 전자 이온 소스 (extended-depth mini electron ion source) 는 더 많은 에너지와 더 많은 관통 깊이와 균질성을 가능하게한다. 특허를받은 절연 이온 소스 차폐 시스템 (insulating ion source-shielding system) 은 재료 표면에서 더 일관된 치료를 제공하여 정확성과 반복 성을 더욱 향상시킵니다. EHP 500 (EHP 500) 은 사용자가 기판 처리에서 원하는 결과를 얻을 수 있도록 다양한 맞춤형 매개 변수를 갖추고 있습니다. 여기에는 스캔 주파수, 진폭, 스캔 속도, 유지 시간 등의 전체 스캔 매개변수와 함께 트림 크기, 포커서 깊이, 간격 시간, 웨이퍼 시간 (Wafer Time) 등의 조정 가능한 피쳐 매개변수가 포함됩니다. 또한, 이 장치에는 강력한 프로세스 모니터 (Process Monitor) 가 있어 실시간으로 치료의 진행 상황을 즉시 평가할 수 있으며, 필요에 따라 필요한 수정/조정 작업을 수행할 수 있습니다. EHP500에는 생산성 및 인력 보호를 극대화하는 여러 가지 안전 기능도 있습니다. 과부하 방지 장치 (overload protection unit) 가 장착되어 있는데, 이 장치는 전압, 로드, 비정상적인 전류가 손실될 경우 발생하며, 안전하지 않은 조건이 있을 경우 자동으로 종료됩니다. 또한 디바이스의 소프트웨어를 지속적으로 모니터링하여 하드웨어에서 발생할 수 있는 사고 (Accident) 나 오작동 (Maunfunction) 을 감지합니다. 결론적으로, EHP-500은 시중에서 사용할 수 있는 효율적이고 신뢰할 수있는 이온 임플랜터 & 모니터 (ion implanter & monitor) 로, 사용자가 정확하고 반복 가능한 표면 처리와 최대 제어를 위해 수많은 조정 가능한 매개변수를 제공합니다. 강력한 흑연 포커서, 확장 심도 전자 미니 이온 소스, 절연 이온 소스 차폐 머신 (source-shielding machine) 은 탁월한 정확성과 다용성을 제공하는 반면, 내장 프로세스 모니터 및 안전 기능은 최고의 안전성과 생산성을 보장합니다.
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