판매용 중고 VARIAN E500 HP #9220342

VARIAN E500 HP는 VARIAN Semiconductor Equipment Group, Inc.에서 설계 및 생산 한 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로의 설계 및 제조에 사용됩니다. "에너지 '증착 을 조절 한" 웨이퍼' 에 "이온 '을 심는 데 는 매우 신뢰 할 수 있고 효율적 이며 정밀 한 단위 이다. VARIAN E500HP는 저에너지 및 중간 에너지 이식 모두에 사용할 수있는 다용도 기계입니다. 이 도구에는 이온 생성 및 이온 빔 분석을위한 저전력 이온 소스가 포함되어 있습니다. 에셋에는 그래픽 사용자 인터페이스, 빠른 응답 빔 제어 모델, 고해상도 디지털 카메라, 컴팩트 빔 모니터, 강력한 오버 헤드 장비 스캐너 (overhead equipment scanner) 등 여러 가지 고급 구성 요소가 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 빔 매개변수 및 웨이퍼 방향과 다중 레이어 이온 임플란테이션을 직접 제어합니다. 이온 빔 (Ion Beam) 은 시스템에 들어가면 현재 분포로 변형되며, 이는 빔 제어 장치 (Beam Control Unit) 로 달성됩니다. 이 머신은 동적 제어 (dynamic control) 기능을 통해 정확하고 균일한 전류 분배를 보장하고 실시간 모니터링 및 제어를 제공합니다. 또한 디지털 카메라는 빔 프로파일 (beam profile) 과 현재 배포판을 실시간으로 시각화하여 정확한 임플란테이션을 제공합니다. 컴팩트 빔 모니터 (Compact Beam Monitor) 는 안정적인 데이터 수집 및 모니터링 기능을 제공하여 프로세스 모니터링을 개선하고 균일성을 높일 수 있습니다. 이 도구에는 초고속 스캐닝 및 패턴화를 통해 비스톱 (non-stop) 작동을 위한 오버 헤드 웨이퍼 스캐너 (overhead wafer scanner) 도 장착되어 있습니다. 또한 E-500HP 는 다양한 소재 및 이식 (implantation) 조건에서 작동하도록 설계되어 다양한 이식 (implantation) 애플리케이션에 적합합니다. VARIAN E-500HP의 기능을 조합하면 제조 산업에 귀중한 툴이 됩니다. "칩 '의 성공적 이고 경제적 인 생산 에 필수적 인, 일관성 이 있고 예측 가능 하며 재생 가능 한 결과 를 제공 한다. 이 "에셋 '은 또한 여러 종류 의 물질 을 층 형태 로 생산 하는 데 사용 할 수 있으며, 또한 입자 와 오염 을 청소 하는 데 사용 될 수 있다. 또한, 이 모델은 또한 스퍼터 데미지를 최소화하도록 설계되었으며, 이는 고에너지 이온에 장기간 노출되어 기질이 손상 될 수 있습니다. 전반적으로, E500 HP는 다양한 어플리케이션에 대한 이온의 정확한 임플랜테이션과 모니터링을 제공하는, 고급적이고 효율적인 장비입니다. 이 제품은 혁신적인 기능과 구성 요소로 설계되어 탁월한 제어 능력 (control and unifority) 을 제공하며, 생산에 소요되는 시간과 비용을 크게 줄여줍니다.