판매용 중고 VARIAN E500 EHPI #293801765
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VARIAN E500 EHPI는 하전 입자를 반도체 기판에 제어하고 이식하는 데 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 임플란터는 반도체 생산 및 포장, 항공 우주 및 방위, 통신, 자동차 및 의료 기기 제조 등 다양한 산업에 사용됩니다. E500 EHPI는 하전 입자를 기판에 이식하기 위해 직류 (DC) 이온 소스를 사용합니다. 이온 임플란터 (ion implanter) 는 최소 10kV에서 최대 100kV까지 광범위한 에너지를 제공 할 수 있습니다. 또한, 기계는 최대 10 미크론 (1/100/1 밀리미터) 의 정확도로 정밀한 빔 제어를 허용합니다. VARIAN E500 EHPI의 전기 부품은 교체 가능한 모듈 식 주택으로 둘러싸여 유지 보수, 수리 및 서비스가 쉽고 간단합니다. 완전 자동화 장비에는 가이드 릴, 히터 센서, 양성자 검출기, 온도 모니터, 전자 백스캐터링 탐지기 등 다양한 기계 및 디지털 부품이 제공됩니다. E500 EHPI는 직관적인 프로그래밍 및 디스플레이 메뉴를 통해 간단하고 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. VARIAN E500 EHPI는 빔 전류 모니터, 입자 소스 모니터 등 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션으로 구성할 수 있습니다. 이것 은 여러 가지 재료 를 서로 다른 두께 의 기판 으로 이식 하는 것 과 같은 "응용 '에 이상적 이다. 이 시스템은 또한 입자 스펙트럼 (particle spectra) 을 수집 할 수 있으며, 이는 추가 분석에 사용될 수 있습니다. 안전성 (Safety) 은 E500 EHPI의 핵심 요소이며, 주변 조명과 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 뿐만 아니라 챔버 도어가 열릴 때 장치가 작동하지 않는 연동 챔버 도어입니다. 또한, 기계에는 진공 누출 탐지기, 방사선 방패 및 이온 빔 모니터가 장착되어 있습니다. VARIAN E500 EHPI는 RF 및 ESD 방사선 안전 표준을 포함한 모든 필수 안전 규정을 준수합니다. 결론적으로 E500 EHPI는 신뢰할 수 있고 강력한 이온 임플란터 및 모니터입니다. 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션을 통해 구성할 수 있으며, 간단하고 쉽게 운영할 수 있습니다. 또한, 여러 가지 안전 (Safety) 기능이 있어 광범위한 어플리케이션에 안전합니다.
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