판매용 중고 VARIAN E220HP #9237131
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판매
ID: 9237131
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Ion implanter, 8"
Terminal module / Gas cabinet:
Gas cylinder volume: 4 ltrs
No Ar (External / Internal)
AsH3 Cylinder type: High pressure
PH3 Cylinder type: SDS 2.25L
BF3 Cylinder type: High pressure 1L
Gas line purge
No dual vaporizer option
M-Chuck
Terminal module / Source:
Source head type: Bernus
Source bushing type: EHP
No source magnet polarity switch
No 2 steps reducer type option
Terminal module / Beam-line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
Automatic graded decel relay & P/S
No hall probe option
Beam energy probe option
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat & tilt type
Travel faraday type: TVL Faraday
No metal contamination reduction kit option
CVCF
Enclosure:
No video viewing of wafer loading
No three light signal tower
Smoke detectors
No water leak detectors
No service monitor
Accessories:
Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C
Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Source rough pump type: EBARA 40x20
No beam line booster pump
Stage pump type: EBARA 50x20
L/L Pump type: EBARA A30W
Target cryo pump type: CTI-250
Load lock pump type: AISHIN GD263
Cryo compressor type: SUZUKI C300
Remote PD
Option: Beam drift monitor
System PC: 1 GHz
Spare parts:
Ion source head
Terminal insulator
1994 vintage.
VARIAN E220HP 엔드스테이션은 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. 최대 빔 전류 (beam current) 와 에너지 안정성을 제공하도록 설계된 고급 장비입니다. 이 다목적 시스템 워크 호스 (workhorse of a system) 에는 임플란트의 깊이, 기울기, 균일성을 구현하고 모니터링하는 데 가장 적합한 최첨단 기술이 장착되어 있습니다. 이 장치는 에너지 효율이 높은 고출력 듀얼 빔 가속기로 구동되며, 단일 빔 모드 (single beam mode) 또는 다중 빔 모드 (multiple beam mode) 로 구동할 수 있습니다. 즉, 모든 애플리케이션에 대한 구축/용량 제어를 더욱 유연하고 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 기계 는 또한 "가속기 '로부터의 방사선 배출 을 감소 시키도록 설계 된 견고 한 방패 조립 장치 를 갖추고 있다. 이 도구의 특징은 작업 환경 (Work Environment) 이 안전하게 유지되고 생성된 임플란트 (Implants) 의 품질이 가능한 최고 품질을 보장합니다. 임플란트 프로파일을 모니터링하기 위해 에셋에는 빔 위치 (beam position) 와 용량 분배 (dose distribution) 를 정확하게 제어할 수있는 고정밀 빔 튜닝 모델이 장착되어 있습니다. 모니터링 장비는 임플란트의 불균일성을 측정 할 수도 있습니다. 비통일성 (non-unifority) 영역을 신속하게 파악하고 문제를 해결할 수 있는 솔루션을 제공하는 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 다양한 진단 도구 (diagnostic tools) 가 포함되어 있는데, 이 도구는 프로세스를 더욱 세밀하게 조정하고 임플란트가 최고 품질 (Quality) 및 신뢰성을 갖도록 할 수 있습니다. 이 장치에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 제공되므로 운영자가 전체 임플란트 프로세스를 손쉽게 관리할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 쉽게 탐색할 수 있으며 몇 번의 클릭으로 필요한 모든 설정을 관리할 수 있습니다. 이렇게 하면 전체 임플란트 (implant) 프로세스를 보다 효율적으로 처리하고 프로세스를 완료하는 데 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. VARIAN E220 HP는 또한 최고의 시스템 가동 시간과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 자가 모니터링 툴 (Self Monitoring Tool) 을 사용하여 문제가 발생하기 전에 문제를 감지하고 운영자에게 경고할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 자동화된 유지 보수 프로토콜 (maintenance protocol) 과 사용자 정의 유지 관리 루틴 (maintenance routine) 을 갖추고 있어 항상 효율적이고 효과적으로 실행할 수 있습니다. E 220 HP는 고성능 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터를 찾는 제조업체에 적합한 자산입니다. 최첨단 기능, 견고한 실드 어셈블리 (shield assembly) 및 사용자 친화적 인터페이스 (user friendly interface) 를 통해 효율성과 안정성 모두에서 최고의 품질의 임플란트를 제공할 수 있습니다.
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