판매용 중고 VARIAN E220HP #9222331
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판매
ID: 9222331
웨이퍼 크기: 6"
Medium current ion implanter, 6"
(2) Stage EBARA dry pumps
EBARA E/S Rough dry pump
EBARA Source roughing dry pump
Compressor: CTI-8500 / SUZUKI C300
He line: 15M
Target cryo: CT-8F
Load lock pump: SUZUKI Baby Cryo
Source Pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Aperture pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Scanner pump: SEIKO SEIKI Turbo pump
Vacuum system Gauge: CCIG
Cooling system: Ground & terminal water pump
Power system:
UPS
Wafer handler system
Hand off type: Standard
Handler motor
Platen (Mechanical)
Roplat head
Roplat cable
Tilter assy P/N
Linear motor servo controller
Platen tilter servo controller
Rotating platen / Scanfara controller
Ropins motor
Scan field forcer
Heat exchange
Orienter motor (Belt type)
Orienter sensor (Lamp)
Orienter controller
Orienter lifter controller
Right elevator controller
Left elevator controller
Mapping sensor
Cassette / Tilt sensor
Service monitor
Gas supply system:
Gas bottle type: High pressure
(3) Gas bottle
Gas box type: HP
Beam generation / Source:
Ion source: E11030996 Bernas
Arc PS
Filament PS
Extraction PS: 40 kV
Extraction suppression PS
AMU Power supply
Lens power supply
E220 Source bushing
2 Step reducer
Beam generation / Beam-line
Trek amplifier: 20 KV
Acceleration PS: 180 KV
Acceleration suppression PS
Acceleration column
Mirror PS
Decel PS
PCB Scan generator
Scan generator controller
Beam measurement & scan check:
Uniformity controller
Dose integrator control
Beam purity check
Faraday
No Accel / Decel switch hardware
Quality kit: E220 Energy probe
Automation: Host.
VARIAN E220HP는 반도체 제조에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 220 시리즈 임플란터에서 업그레이드 된 것으로, 재료 수정 및 도펀트 임플란테이션을위한 더 큰 이온 빔을 제공합니다. 이 임플란터는 엄청나게 강력한 제어 장치 (control unit) 를 갖추고 있어 빔과 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 기계는 또한 피더 감지, 임플랜터 모터 과부하, 과압 감지와 같은 여러 안전 시스템을 갖추고 있습니다. VARIAN E220 HP를 사용하는 주요 이점은 재료 수정 과정에서 매우 정밀하고 정확합니다. 이 도구 는 금속, 반도체, 플라스틱 등 여러 가지 물질 을 다룰 수 있습니다. 에셋의 제어 모델 (Control Model) 은 제한된 빔 크기와 플럭스 밀도를 유지하면서 정확하고 일관된 양의 임플란테이션을 적용하도록 설계되었습니다. 또한, 장비는 수정 된 재료에 따라 20 keV ~ 6000 keV 범위의 이온 에너지를 달성 할 수 있습니다. 또한 E 220 HP에는 시스템 유지보수 및 문제 진단이 용이한 여러 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 다른 이온 임플란터에 필요한 인터 록 (interlock) 을 제거하는 연속 모니터링 된 모션 감지 머신 (motion detection machine) 이 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 터치 스크린 모니터와 종합적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 도 있습니다. 이 GUI는 자산 성능 모니터링에서 오류에 이르기까지 모든 도구 진단에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 전반적으로, VARIAN E 220 HP는 매우 강력하고 정밀한 이온 임플란터 및 모니터 모델이며, 정확하고 일관된 재료 수정을 위해 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 장비의 안전 기능, 모션 감지 시스템 (Motion Detection System) 및 종합적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 는 반도체 제작에 이상적인 선택입니다.
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