판매용 중고 VARIAN E22000022 #200565

VARIAN E22000022는 다수의 반도체 제작 프로세스를 위해 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 전자 어플리케이션을 위한 고효율의 도핑 (doping) 및 활성화 (activation) 기능을 제공하며, 프로세스를 실시간으로 면밀히 모니터링할 수 있습니다. E22000022 감마선 모니터 (옵션) 가 있는 E22000022 3축 16 MeV 최소 에너지 중이온 임플란터. 청결 한 환경 을 유지 하는 한편, 자동 "웨이퍼 '장전 장치 와" 웨이퍼' 진공 "히터 '를 갖추고 있다. 기판 저항성의 변화를 정확하게 추적할 수 있는 고정밀 (High-Precision) 전원 공급 장치도 포함되어 있어 매우 정밀한 임플란트를 제공합니다. 또한, 고급, 고정밀도 프로파일 모니터를 통해 임플란트 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 기계의 실행 종료 브로드캐스트 어레이 (End of run broadcast array) 를 사용하면 농도, 활성화 영역, 임계값 등 기판의 특성을 자세히 분석 할 수 있습니다. 또한 통합 장애 보호 (fault protection) 와 운영 매개변수를 모니터링하고 운영자에게 잠재적 문제를 경고하는 자체 진단 시스템 (self-diagnostic system) 이 포함되어 있습니다. VARIAN E22000022는 또한 매우 낮은 온도에서 작동 할 수 있으며, 뛰어난 반복성으로 초박층 (ultra-thin layer) 을 이식할 수 있습니다. E22000022는 다용도, 효율성, 신뢰할 수 있는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 제품은 반도체 제조 플랜트에 귀중한 자산으로 사용할 수 있는 많은 정교한 기능을 제공합니다. VARIAN E22000022는 고정밀 제어 (high-precision control), 고급 모니터링 시스템 (advanced monitoring system) 및 E22000022로 고급 전자 부품을 제작하는 데 가장 적합한 도구 중 하나입니다.