판매용 중고 VARIAN E220 #9272647

VARIAN E220 이온 임플란터 및 모니터는 반도체 웨이퍼에 도펀트를 이식하고 모니터링하도록 설계된 고정밀도, 최첨단 도구입니다. 이 기계는 비용 효율적이면서도 견고하며, 원하는 기판에 균일 한 속도 (rate) 와 깊이 (depth) 로 도펀트를 정확하게 모니터링하고 임플란트하도록 설계되었습니다. 바리안 E-220 (VARIAN E-220) 은 조정 가능한 이온 가속 및 감속을 통해 사용자에게 더 정확한 임플란테이션과 모니터에 가장 적합한 용량 균일성을 제공합니다. 이 기계는 최대 16 개의 웨이퍼를 동시에 분석 할 수 있으며, 최대 이식 전류 (최대 200mA) 와 직경 4mm (최대 4mm) 의 가변 빔 스팟 크기를 가진 조정 가능한 이온 임플랜터 빔을 갖습니다. E 220에는 웨이퍼 배치 및 방향 정확성을 보장하는 샘플 트래커 (sample tracker) 및 테이블 급지 시스템도 있습니다. 또한 정확한 임플란테이션을위한 고급 에미시브 피드백 시스템이 있습니다. VARIAN E 220에는 샘플 위치에서 이온 빔 전류 및 감속을 제어하여 이식 깊이를 최적화하는 OCI (On-Cell Implanter) 가 통합되어 있습니다. 이 OCI는 전체 웨이퍼에 균일 한 도핑 농도 및 용량 프로파일을 제공하는 것으로 입증되었습니다. 이 기계에는 OCI 모니터도 있습니다. OCI 모니터는 2 펄스 주기로 실시간으로 이온 임플란테이션을 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. E-220 이온 임플랜터 및 모니터는 자원을 최적화하면서 에너지 효율성이 향상되도록 설계되었습니다. 임플란터 빔 전류 (implanter beam current) 를 모니터링하고 제어함으로써 프로세스 제어가 개선되고 생산 수익률이 높아집니다. E220 의 데이터 구입 및 분석 (Data Acquirition and Analysis) 기능은 또한 귀중한 데이터를 제공하여 반복성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다.