판매용 중고 VARIAN E220 #9257302
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9257302
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Ion implanters, 8"
Type: Medium current implanter
SEIKI STP-1000C Vacuum turbo I/S
SEIKI STP-300 ANA Turbo
SEIKI STP-1000 B/L Turbo
Vacuum rough I/S: EBARA 40 x 20
Stage: EBARA 50 x 20 UERR 6M
Load lock: EBARA A30W
Gas box: HP type
(4) Gas bottles:
PH3-s
AsH3-s
BF3
Busshing EHP type
Source head bernas
Arc power supply CPI
Mirror readback
Reducer: (2) Steps
Scan post scan chamber
Scan generator trek PS
Linear servo copley
Wafer clamp mechanical: 6 Points
Roplat: (Controller P/N:E11048880)
Tilter: (Controller P/N:E11048890)
Travelling faraday TVL
Main monitor flat-panel
Decel auto
HV Probe
Exhaust leak detect
Gas Interlock Unit
Interface PD
No vaporizer
1994 vintage.
VARIAN E220은 VARIAN Semiconductor Equipment Group에서 제조 한 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 특히 생산성을 높이고 비용을 절감할 수 있도록 설계된 VARIAN E-220 은 반도체 칩 제조업체가 고성능, 저전력 장치를 신속하게 생산할 수 있게 해 줍니다. E 220 임플란트 및 모니터는 소음 수준이 낮고 균일하며 비교적 컴팩트한 고품질의 정밀 임플란트를 제공합니다. VARIAN E 220에는 두 개의 독립 드라이브 시스템 (전이중 소스 및 고전류 전자원) 이 있어 최적의 성능을 제공합니다. 이 기술은 이온과 전자 빔을 칩에 이식 할 수있게합니다. 또한 E220 은 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 임플란트 조건에 대한 정확한 실시간 모니터링을 지원합니다. E-220은 빔 전류 범위 (최대 25mA), 전압 범위 (최대 950V) 및 에너지 범위 (최대 25keV) 를 제공하여 더 높은 범위의 이온 종을 전달 할 수 있습니다. 이 임플란터에는 3 개의 전극 구성, 증착 모니터 및 최대 8 레벨의 기판 보호 기능이있는 기울기 가능한 자동 기판 마스커가 있습니다. 이것은 과잉 관통없이 이온과 전자의 정확한 전달을 가능하게한다. VARIAN E220 (VAR E220) 에는 고급 프로그램 가능 전달 시스템이 장착되어 있으며, 총 빔 전류, 펄스 사이의 타이밍, 총 용량 등 다양한 변수를 제어 할 수 있습니다. 또한 자동 플라즈마 클리너 (Plasma Cleaner) 와 사전 프로그래밍 루틴이 포함되어 있어 처리량을 높이고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, VARIAN E-220 (Varian E-220) 은 잠재적 인 마모 영역을 식별하고 모든 변칙적인 작동 조건을 조기에 경고하여 신뢰성 및 가동 시간을 늘리도록 설계된 예측 유지 관리 시스템을 갖추고 있습니다. E 220은 안정적이고 정밀한 이온 임플랜터 (ion implanter) 및 모니터로, 고품질 장치가 필요한 프로덕션 환경에 적합합니다. 자동화 (automated) 및 수동 (manual) 운영, 정교한 안전 및 제어 시스템 모두 갖춘 VARIAN E 220은 다양한 반도체 칩 제조업체에 최고의 정확성과 효율성을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다