판매용 중고 VARIAN E220 #9069279

VARIAN E220 (VARIAN E220) 은 이온 임플랜터 및 모니터 장비로, 웨이퍼 및 기판에 대한 다양한 임플란트 프로파일을 만들 수있는 매우 정확한 이온 임플란테이션을 제공합니다. 바리안 E-220 (VARIAN E-220) 은 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 크기와 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 수명이 연장 된 lanthanum hexaboride (LaB6) 총으로 구성된 이온 소스를 특징으로합니다. 총은 진공 실 (vacuum chamber) 에 매달려 있으며 컴퓨터 제어 전원 및 그리드 조정기로 작동하여 최적의 이온 이온 이식 조건을 달성합니다. 이 장치에는 또한 인터 록 (interlock), 압력 센서 (pressure sensor) 및 디지털 전류 미터 (digital current meter) 와 같은 이온 이식 모니터링 및 제어 구성 요소가 포함되어 있어 정확하고 반복 가능한 임플란테이션을 보장합니다. E 220은 이식 된 용량과 분석 크기를 정확하게 제어하여 효율적이고 정확한 임플란테이션을 보장합니다. 이 기계는 0.0005 인치 ~ 0.8 인치 두께의 이식 프로파일을 적용 할 수있는 최대 10 개의 독립 챔버를 허용합니다. VARIAN E 220은 이온 종의 주입 및 추출에 고전압 정밀 장치를 사용하여 높은 이온 균일성 (ion uniformity) 과 매우 낮은 이온 착상 에너지 확산을 초래한다. E220은 또한 신상도 (emergancy) 의 경우 챔버 압력 감소, 전력 고장의 경우 비상 종결 (emergency shutdown), 문 또는 창문의 우발적 개방을 감지하는 챔버 인터록 (chamber interlock) 도구를 포함하여 많은 안전 연동이 있습니다. 자산에는 또한 위험하고 공수 오염 물질에 대해 운영자에게 경고하는 입자 검출기가 있습니다. 이 모델은 사용자 친화적 인 인터페이스와 상태 경보, 현재 경보, EOL (End-of-Run) 경보, 챔버 경보, 장비 오작동 경보, 순차 경보 등 사용자 편의성 및 보호를 위한 다양한 경보를 제공합니다. 이 모든 알람은 안전하고 성공적인 이식 과정을 보장합니다. E-220 은 뛰어난 수준의 제어 및 정확성을 제공하며, 뛰어난 사용자 친화력과 안전성을 제공합니다. 이 시스템은 정확하고 반복 가능한 임플란테이션을 제공하며 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 긴 수명 구성 요소, 정확한 이식 제어 (implantation control) 및 수많은 안전 인터 록 (safety interlock) 을 제공 할 수 있습니다. 이것은 사용자에게 신뢰할 수 있고 안전한 임플랜터 시스템을 제공합니다.