판매용 중고 VARIAN E220 / E500 #293767838

VARIAN E220/E500 이온 임플란터 및 모니터는 반도체 산업에서 웨이퍼 표면의 균일 한 도핑을 달성하기 위해 사용되는 고성능, 다기능 도구입니다. E220 및 E500 모델은 모두 최대 250kV에서 이온을 이식 할 수 있으며 -55 ° C ~ 150 ° C의 온도 조절을 제공합니다. 이 장치는 다양한 빔 전류 (beam current), 강도 (intensity) 및 에너지 범위를 선택할 수 있으며 고급 빔 제어 장비 및 디지털 시스템 검출기를 갖추고 있어 빠르고 정확한 빔 튜닝 기능을 제공합니다. 온도는 고급 열전대 설계를 사용하여 측정됩니다. E220/E500 장치에는 이온 소스 트레이 및 건, 진공 PFC, 가스 믹싱 챔버 및 빔라인 콜리 메이터가 장착되어 있습니다. 이온 소스 트레이 및 총은 최대 3 개의 이온 소스를 선택할 수 있으며, 조절 가능한 빔 전류, 에너지 및 펄스 간격을 제공합니다. 진공 PFC (Vacuum PFC) 는 장치에서 일관된 진공을 유지하는 반면, 가스 믹싱 챔버 (Gas Mixing Chamber) 는 기계에 첨가제를 도입 할 수 있습니다. 빔라인 콜리메이터 (Beamline Collimators) 를 사용하면 빔 각도와 모양을 정확하게 선택할 수 있습니다. 또한 E220 및 E500 모델은 다양한 모니터를 통해 도구의 안정성을 보장하고 이식 깊이를 추적할 수 있습니다. 이 시스템에는 이온 전류 모니터, 통합 이온 모니터 및 이온 프로파일 모니터가 있습니다. 이온 전류 모니터는 전류 (total ion current) 와 빔 전류 (beam current) 를 측정하는 데 사용되며, 통합 이온 모니터는 평균 이온 플럭스를 측정할 수 있습니다. 이온 프로파일 모니터는 이온 이온의 프로파일을 측정합니다. VARIAN E220/E500 장치에는 운영자와 장비의 안전성을 보장하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 키 잠금 자산, 통합 기계식 도어 연동 스위치, 진공 덮개 표시기, 성능 경보 및 비상 정지 기능이 포함됩니다. 전반적으로, E220/E500은 웨이퍼 표면의 균일한 도핑을 달성하는 데 필수적인 고성능, 다기능 도구입니다. 이 장치는 안정적이고 안정적인 환경을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 모니터와 안전 기능 (Safety Features) 은 안전하고 최적의 조건에서 공구가 작동하도록 합니다.