판매용 중고 VARIAN E19013590 #9070880

VARIAN E19013590은 반도체 장치 제조에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 반도체 업계에서 널리 쓰이는 이유는 높은 정확도, 안정적인 성능, 낮은 운영 비용 등입니다. 깊이 조절이 높은 도펀트를 이식하는 능력으로 유명합니다. E19013590 장비는 이온 임플란터, 빔 감속기, 모니터 챔버 및 일련의 조작기로 구성됩니다. 이온 임플란터는 고전류, 저에너지, 가변 에너지 이온 임플란터입니다. 조정 가능한 깊이, 수백 개의 옹스트롬에서 수천 개의 옹스트롬에 도펀트를 이식 할 수 있습니다. 빔 감속기 (beam decelerator) 는 이온 임플란터에서 이온을 늦추는 데 사용되어 낮은 에너지에서도 더 인상적인 제어를 사용할 수 있습니다. 모니터 챔버 (monitor chamber) 를 사용하면 작업 중에 조건화된 이온을 측정할 수 있으므로 원하는 경우 프로세스 조건을 조정할 수 있습니다. VARIAN E19013590에는 이식 중 웨이퍼를 정확하게 제어 할 수있는 정밀 조작기가 제공됩니다. 또한 추가 보호 및 위치 정확성을 제공하기 위해 정전기 척 (electrostatic chuck) 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 균일 한 용량 분배와 뛰어난 깊이 제어를 제공 할 수 있습니다. 용량 비율은 0.5 ~ 50 dpa/s에 이르는 조정이 가능합니다. 이 장치에는 다양한 진공 및 안전 연결 장치 (vacuum and safety interlock) 와 고급 진단 모니터링 장치 (diagnostic monitoring machine) 가 장착되어 있습니다. 공구의 모든 컴포넌트를 항상 모니터링하여 잠재적 위험 (Potential Dangerance) 을 파악하고 피할 수 있습니다. 또한, 이 자산에는 다양한 소스, 셔터, 전극 어셈블리 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한 연결된 가스 소스에 직접 인터페이스를 제공하여 신속한 소스 변경 (source change) 을 허용합니다. 모델을 원격으로 조정할 수 있으며, 필요한 모든 조정이 컴퓨터를 통해 이루어집니다. 전반적으로 E19013590 이온 임플란터 및 모니터는 정확하고, 안정적이며, 경제적인 반도체 장치 제조를 제공합니다. 다양한 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 진단 모니터링 (Diagnostic Monitoring) 이 장착되어 있으며, 정교한 액세서리가 이식을위한 강력한 도구입니다.