판매용 중고 VARIAN E17179550 #9002204

VARIAN E17179550 (VARIAN E17179550) 은 최첨단 이온 임플란터이며 반도체 웨이퍼와 같은 기판에 이식 될 이온을 생성하도록 설계된 모니터입니다. 25MHz RF 소스, 광범위한 가속 전압 (50 ~ 400KV) 및 동위 원소 분리 시스템이 장착되어 있습니다. 고급 고해상도 패러데이 컵 모니터링 (Faraday Cup Monitoring) 은 용량 비율의 정확한 제어 및 조정을 통해 전체 웨이퍼를 통해 균일 한 이온 임플란테이션을 제공합니다. E17179550 에는 빔 크기 (beam size) 와 에너지 분포 (energy distribution) 를 정확하게 측정하고 효과적인 빔 진단 기능을 제공하는 높은 처리량, 고품질 이온 수집기가 포함되어 있습니다. 또 다른 중요한 특징은 이식 전에 웨이퍼를 최적의 온도로 균등하게 가열 할 수있는 진공 내 샘플 히터 (in-vacuum sample heater) 입니다. VARIAN E17179550은 높은 신뢰성과 열적으로 안정적이며, 자기장 허용 용량이 낮습니다. 따라서 소규모나 대규모의 배치 이식 (implantation) 의 생산에 특히 적합하며, 이를 통해 기판의 생산량이 향상되고, 고객의 비용이 절감됩니다. 즉, 운영 제품군으로의 통합은 간단하며, 적절한 운영/유지 관리를 위해 최소한의 운영자 개입 (operator intervention) 을 필요로 합니다. E17179550 은 안정적이고, 고성능, 정교한 이온 임플란터 및 모니터로, 반도체 및 광전자 산업의 다양한 이식 기술에 적합합니다.