판매용 중고 VARIAN E11114360 #144136
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ID: 144136
Process module controller
DELTA TUA axis interface boards
High-resolution A-D converter
8/16 A/D input
Other boards.
VARIAN E11114360은 고성능 이온 임플랜터 (ion implanter) 및 모니터로, 프로세스 안정성 및 생산성 향상을 위해 설계되었습니다. 다용도, 범용 장비로, 다양한 고급 어플리케이션에 적합하며, 일상적인 운영 운영에 적합합니다. E11114360은 에너지 및 전류 설정을 조정할 수 있는 완전 내장형 빔라인 (beamline) 시스템으로, 정확하고 정확한 임플란테이션을 제공합니다. 이 장치에는 정교한 소스 오염 제어 (source contamination control) 및 오염 방지 시스템 (pollution protection system) 이 장착되어 있어 유해 입자 및 가스로부터 기계를 안전하게 보호합니다. 고정밀 가스 타이트 웨이퍼 (gas-tight wafer) 수송 도구를 추가하면 프로세스 안정성과 처리량이 더욱 향상됩니다. 빔라인 에셋은 고성능 디지털 스캐닝 (digital scanning) 모델과 강력한 빔 프로파일 모니터링 (beam-profile monitoring) 기술로 구동되며, 빔라인을 탐색하고 임플랜팅 조건을 신속하게 수정합니다. 이 고급 스캔 장비를 통해 운영자는 프로세스에 대한 실시간 피드백을 얻어 정확도, 효율성, 수익률을 높일 수 있습니다. VARIAN E111114360 (Varian E11114360) 에는 디지털 빔 형태 최적화 기술이 적용되어 있어, 사용자가 빔 모양을 조정하여 특정 요구 사항에 맞게 임플란테이션을 조정할 수 있습니다. 이 혁신은 이식 된 입자가 웨이퍼에 균질하게 분포되어 공정 정밀도 (process precision) 와 수율 (yield) 이 증가하도록 보장합니다. 이 시스템은 최신 Windows 기반 제어 인터페이스로 제어되므로 E11114360을 쉽게 작동시킬 수 있습니다. 이 인터페이스에는 직관적인 기능과 컨트롤 (control) 이 있어 운영자가 신속하게 설정을 조정하고 임플란테이션 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 장치의 고급 인텔리전스 (Intelligence), 제어 (Control) 및 진단 (Diagnostic) 기능은 광범위한 프로그래밍 유연성을 제공하며 운영자가 광범위한 데이터를 액세스하고 프로세스를 분석할 수 있도록 합니다. VARIAN E11114360은 향상된 수율을 위해 고급 기술, 정확성, 효율성 및 신뢰성을 결합한 인상적인 이온 임플란테이션 및 모니터링 기계입니다. 종합적인 설계로 다양한 고정밀 임플란테이션 어플리케이션을위한 이상적인 도구입니다.
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