판매용 중고 VARIAN E11034134 #9107001

VARIAN E11034134는 VARIAN Corporation에서 개발 한 E1103 시리즈 이온 임플랜터 및 모니터의 일부입니다. 이 특정 모델은 전용 1.5Kw 이온 소스 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터로, 대용량 반도체 제조 공정에서 탁월한 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. E11034134는 2 단계 셔터링 진공 잠금 장치를 갖춘 전신 진공 급지 설계를 구현합니다. 또한, 모델은 기계 본체에 제어 캐비닛을 완전히 통합하는 한편, 최고 수준의 안전 (Safety) 과 청결 (Cleaness) 을 제공합니다. 소스 측면에서 VARIAN E11034134에는 VARIAN Plasma Improvement Program 및 Smart Source 기술을 통합 한 1.5kW Plasma Source가 장착되어 있습니다. Plasma 소스에는 최대 성능 및 반복성을 위한 다양한 조정 가능한 매개 변수가 포함되어 있습니다. 또한, 이온 임플란터 및 모니터는 작동 중 중화 전류 (neutralization current) 가 필요하지 않으며 자동 시동 시스템 (startup system) 이 특징입니다. 이 기계는 주로 집적 회로의 제작을 가능하게하기 위해 이온을 반도체 기판에 임플란트 (implant) 하는 데 사용된다. 이식 프로세스는 반도체 컴포넌트의 유형과 사용 된 제조 기술에 따라 다릅니다. 또한 내장 레시피 시스템, 자동 시작, 고급 진단 제어, 안전 연동, 프로세스 제어 피드백, 성능 모니터링 도구 등의 자동 제어 기능도 갖추고 있습니다. 또한, 기계는 작동 중 고장 또는 고장을 방지하기 위해 향상된 냉각 및 제거를 사용합니다. E11034134는 대용량 반도체 제조업체에 이상적인 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 기계는 경제적이고 효율적인 고성능, 신뢰성 있는 설계를 제공합니다. 또한, 이 머신은 자동화되고 효율적인 프로세스 흐름을 가능하게 하는 수많은 제어 기능 (repeatability) 을 제공합니다. 안전 측면에서, 기계는 2 단계 셔터링 진공 잠금 장치 (shuttering vacuum lock) 를 사용하여 작동 중 임플랜터 내부에서 모든 부품을 안전하게 보호합니다. 또한 VARIAN E11034134는 UL, CE 및 RoHS 인증을 받았으며, 이는 반도체 생산을 위해 신뢰할 수 있고 유능한 기계입니다.