판매용 중고 VARIAN E1000 #158481

VARIAN E1000은 고급 이온 임플란터 및 이온 모니터입니다. 이온 이식 시스템 제조업체 인 VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.에서 개발했습니다. VARIAN E-1000은 고정밀 단축 모터 컨트롤러 및 냉장 모터 스핀들 (motor spindle) 을 사용하여 임플란테이션 전력과 정확성을 구동합니다. 모터 컨트롤러 (motor-controller) 와 모터 스핀들 (motor spindle) 의 조합은 용량 속도와 피크 전압을 지속적으로 제어합니다. E 1000 은 고급 진단 센서를 사용하여 최고 전압 정확도를 보장하고 잠재적인 호출 (arcing) 또는 기타 전기 오류를 감지합니다. 이러 한 오류 는 "이온 '주입 과정 에 사용 되는" 웨이퍼' 나 "필름 '을 크게 손상 시킬 수 있다. 센서는 또한 가속기 및 범위 잠금 장치의 충전 (charge transfer) 을 모니터링합니다. 이를 통해 가속기의 활용도를 극대화할 수 있습니다. 또한 E-1000은 빔 정렬을 위해 정밀 가중치 피드백 루프를 사용하여 정확한 임플랜테이션을 제공합니다. E1000에는 펜토드 이온 소스도 있습니다. 이 소스는 안정성과 반복성이 강한 고강도 네거티브 이온 빔을 생성합니다. 이것은 이온의 균일 한 이식을 보장합니다. "와퍼 '가 너무 많은" 이온' 으로 폭격 당하지 않도록 보호 하기 위하여 "하이퍼파인 빔 셀렉터 '도 포함 된다. VARIAN E 1000은 높은 안정성과 효율성을 자랑하며, 높은 생산률, 저비용 (저비용), 다용도 어플리케이션을 지원합니다. 이온 임플란터 (ion implanter) 는 서로 다른 유형의 기판을 처리하도록 구성 될 수 있으며, 자동 장비 (automated equipment) 는 서로 다른 층의 필름 또는 기판을 수용하도록 수정 될 수 있습니다. 또한, 애플리케이션의 유연성은 기존 1 단계 애플리케이션에 비해 시간과 비용을 크게 절감할 수 있습니다. VARIAN E1000에는 고급 제어 시스템도 있습니다. 이 장치에는 워크스테이션 컴퓨터 (Workstation Computer) 와 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 가 포함되어 있어 실시간 모니터링 및 제어가 용이합니다. 즉, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 편리한 작업을 수행할 수 있고, 통합형 소프트웨어를 사용하면 손쉽게 데이터를 수집할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN E-1000은 고급적이고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 및 이온 모니터입니다. 정밀 개발된 하드웨어 및 소프트웨어는 이온 임플란테이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 통합 제어 머신 (Integrated Control Machine) 은 작업을 단순하고 효율적으로 수행하므로 원활하고 일관성 있는 작업을 수행할 수 있습니다.