판매용 중고 VARIAN DF4 #9181748

VARIAN DF4
ID: 9181748
Ion implanter, 5"
VARIAN DF4는 반도체 제조 및 나노 기술에 사용되는 이온 임플란터 및 모니터 유형입니다. 이식 과정에서 높은 수준의 정확성과 제어를 제공합니다. 이 장치는 초얕은 접합 형성, 이온 변위 손상, 곡물 경계 엔지니어링 등 다양한 저에너지 이온 이온 이식 이식 이식 응용 프로그램에 적합합니다. 이 장비는 DSP (Digital Signal Processing) 카드가 통합된 메인프레임 섀시와 이온 소스, 콜리메이터, 가속기 등의 여러 외부 요소로 구성됩니다. 메인 프레임에는 진공실 내에 몇 가지 온도 안정화 된 이온 소스 (더 무거운 이온 임플란테이션을위한 더 높은 에너지원 포함) 가 있습니다. 독점 알고리즘을 사용하여 DF4는 이온 빔 전류, 용량 및 에너지 매개변수에 대한 정밀 제어를 허용합니다. VARIAN DF4에는 이온 이식 할 때 뛰어난 정확성과 제어를 제공하는 몇 가지 주요 기능이 있습니다. 이 시스템은 가변 전압 범위 (variable voltage range) 를 가진 여러 가지 모드로 작동하도록 설계되었으며, 다양한 재료 (material) 와 조건 (condition) 을 통해 효율적으로 작동할 수 있습니다. 이 가변 전압 범위는 또한 이온 이식 공정에서 오염 및 교차 전하 축적을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한 DF4 는 다양한 센서 (sensor) 및 프로브 (probe) 배열을 포함한 고급 진단 및 모니터링 (advanced diagnostics and monitoring) 기능을 사용하여 장치 상태 및 성능과 프로세스에 대한 실시간 데이터를 제공합니다. 이 센서와 프로브 (Probe) 는 항상 정확성과 제어를 보장하고, 임플란테이션 프로세스의 효율성을 극대화하는 데 도움이됩니다. 또한 이 기계는 내장형 GUI (Graphical User Interface) 와 신속한 진단 및 장애 진단을 위한 Expert Tool도 갖추고 있습니다. GUI 및 Expert Asset을 사용하면 전체 이식 프로세스를 사용자 정의할 수도 있습니다. 또한, 모델은 여러 안전 프로토콜을 통합하여 이식 프로세스가 안전한지 확인합니다. 전반적으로, VARIAN DF4는 고도로 고급적이고 정교한 장치로, 이온 이식과 관련하여 정확성과 제어를 제공합니다. 가변 전압 범위 (variable voltage range) 에서 종합 진단 및 모니터링 (compensive diagnostics and monitoring) 에 이르기까지 광범위한 기능이 가장 광범위한 재료 및 조건에 대해 효율적으로 작동합니다.
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