판매용 중고 VARIAN CF5 #293645615
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VARIAN CF5 는 광범위한 프로세스 엔지니어링 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 강력한 다목적 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터입니다. VARIAN CF-5는 다양한 종류의 이온 (양성자, 중성자 및 주기율표의 이온 포함) 을 반도체 물질로 이식 할 수 있습니다. 또한 이식 프로세스를 실시간으로 모니터링하는 데 사용할 수 있으며, 이식 프로세스 (implantation process) 는 각 특정 프로세스에 대해 설정된 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. CF 5는 전자 총 (이온을 이식하는 데 사용되는), 이온 원, 이온 빔 챔버 및 모니터 어셈블리로 구성됩니다. 전자 총은 전압, 빔 전류 (beam current), 용량 속도 (dose rate) 및 빔 전류 범위 (beam current range) 와 같은 다양한 조정 가능한 매개변수를 가지고 있으며, 이는 방출 된 이온의 종과 에너지를 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이온 소스는 반도체 기반 물질로, 종과 에너지가 다른 이온을 생성 할 수있다. 이온 빔 챔버 (ion beam chamber) 는 이온 빔을 정확하게 제어 할 수있는 반면, 모니터 어셈블리는 시각적 디스플레이 (visual display) 와 이식 공정의 실시간 측정 (implantation process) 을 제공합니다. CF5 임플란터 (implanter) 는 손실이 거의 없는 기판에 이온을 이식 할 수 있으므로 정밀 엔지니어링 응용 분야에 이상적입니다. 모니터 어셈블리 (Monitor Assembly) 는 이식 프로세스를 실시간으로 관찰하는 데 사용할 수 있으며, 모니터 어셈블리 (Monitor Assembly) 는 이식 프로세스를 각 단계에서 간략하게 설명합니다. 바리안 CF 5 (VARIAN CF 5) 는 또한 다양한 온도 조절 옵션을 제공하는데, 이는 이식 공정을 향상시키는 데 사용될 수 있으며, 이식되는 물질에 대한 손상 위험을 제거하기 위해 사용될 수있다. 예를 들어, 온도 조절 오븐을 사용하여 전체 공정 동안 이식 (implantation) 의 정확한 온도를 유지할 수 있습니다. CF-5 는 또한 강력한 온보드 컴퓨터와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 장착하여 임플란테이션 프로세스를 관리하고 모니터링합니다. 온보드 컴퓨터는 이온 빔 챔버 (ion beam chamber) 에서 데이터를 수집하고 처리하는 데 사용되며, 소프트웨어는 전체 이식 프로세스를 제어하는 데 사용됩니다. VARIAN CF5는 매우 안정적이고 강력하며 다재다능합니다. 이 제품은 다양한 정밀 엔지니어링 응용 프로그램에 사용할 수 있으며, 산업용 (industrial) 과 연구용 (Research settings) 모두에서 사용할 수 있습니다. 그것 은 "이온 '종 을 반도체 물질 로 정확 하고 효율적 으로 심는 방법 을 제공 할 수 있다.
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