판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 #9223170
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ID: 9223170
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
High energy ion implanters, 12"
(4) Cassettes / (4) FOUP Positions
ASYST 300 OHT Transport, 12"
All Cables included
GEM / SECS Interface
Mid current classic: 810
Bernas source
Dual vaporizer
(7) Programmable tilt angles
Tilter head revision: Type C
EDWARDS iQDP80 Dry pump
EDWARDS iQDP80/500 Dry pump
Dose range: 1e^11 ~ 1e^13
Turbo's:
Dimmer magnet
Source
End station
Cryo's:
(3) Process chambers
Scan chamber
Process gasses:
Gas 1: HP
Gas 2: SDS
Gas 3: SDS
Gas 4: SDS
Does not include:
Chiller
Dry pumps
Cryo compressors
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 270 kV
2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810은 고급 이온 임플란터이며, 광범위한 처리 요구에 맞게 향상된 성능과 정확한 제어를 제공하도록 특별히 설계된 모니터입니다. 이 장비는 고해상도의 고성능 전자 승수 (electron multiplier) 를 통합하여 임플란트 에너지를 실시간으로 측정하여 임플란트 프로세스마다 균일성과 정확성을 보장합니다. AMAT VIISta 810은 또한 특허를받은 엔드 스테이션 제어 시스템 (ESCS) 을 사용합니다. 이렇게 하면 프로세스 중에 임플란트 (implant) 및 모니터 (monitor) 매개변수를 정확하고 일관되게 제어할 수 있으므로 사전 설정된 매개변수만 사용할 수 있습니다. 또한 VARIAN VIISta 810은 이식 프로세스를 모니터링하기위한 통합 장치를 제공합니다. 내장형 진단 프로그램 (Diagnostics Machine) 을 통해 운영자는 임플란트 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 이 모니터링 도구를 사용하면 양극 전류 및 임플란트 에너지를 보정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS VIISta 810의 히스테리시스 모니터는 또한 샘플 환경을 더 잘 제어 할 수 있습니다. 이 자동화된 자산은 임플란트 에너지 (implant energy) 와 용량 (dose) 을 임플란트 시점 (point-of-implant) 단계에서 모니터링하여 사전 설정 매개변수의 중요한 편차가 신속하게 응답 될 수 있도록 합니다. VIISta 810은 다양한 액세스 가능성 옵션도 제공합니다. 원격 콘솔 (옵션) 을 사용하면 임플란트 프로세스를 모니터링하고 다른 위치에서 제어할 수 있습니다. 또한, 여러 사용자가 다른 컴퓨터에서 임플란트 프로세스를 모니터링할 수 있도록 온라인 접속을 위한 이더넷 (Ethernet) 포트가 있습니다. 이 모델에는 안전 기능도 내장되어 있습니다. 안전 연동은 전류 과부하 및 안전하지 않은 전압을 감지하여 위험한 작동을 방지합니다. 또한 VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810은 구내에서 높은 수준의 안전을 보장하기 위해 모든 최신 표준을 충족합니다. 결론적으로, AMAT VIISta 810은 향상된 성능과 정확한 제어를 위해 특별히 설계된 고급 이온 임플란터 및 모니터입니다. 직관적인 제어와 내장된 안전 (Safety) 기능을 통해 다양한 처리 요구를 충족할 수 있습니다.
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