판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 Classic #293829880

VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 810 Classic
ID: 293829880
Medium current ion implanter Single wafer tilter IHC Source.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810 Classic은 실리콘 웨이퍼의 정확한 도핑을 위해 반도체 산업에 사용되는 고도의 이온 임플란터 및 모니터입니다. 최첨단 장비는 첨단 (최첨단) 기술과 다양한 기능을 갖추고 있어 이온 이식 (ion implantation) 프로세스를 위한 다용도 도구입니다. AMAT VIISta 810 Classic의 핵심에는 이온 소스 (ion source) 가 있으며, 이는 뛰어난 균일성과 정확도로 고 에너지 이온 빔을 생성합니다. 이 시스템에는 고급 이온 광학 장치 (advanced ion optics) 가 장착되어 있어 빔 전류 밀도와 에너지를 정확하게 제어할 수 있으며, 웨이퍼 표면에 일관되고 안정적인 이온 임플란테이션이 가능합니다. 이 정밀도 수준은 정밀도와 반복성이 높은 반도체 (반도체) 장치에서 원하는 도펀트 (dopant) 프로파일을 달성하는 데 매우 중요합니다. VARIAN VIISta 810 Classic (VARIAN VIISta 810 Classic) 은 다양한 이온 종을 수용하여 도핑 공정의 유연성을 가능하게하도록 설계되었습니다. 붕소, 인, 비소, 기타 도펀트를 이식하든, 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족하도록 단위를 쉽게 구성 할 수 있습니다. 이온 소스 (ion source) 는 또한 높은 전류 기능을 갖추고 있으며, 중형 및 고전류 이식 프로세스에 모두 적합합니다. APPLIED MATERIALS VIISta 810 Classic (APPLIED MATERIALS VIISta 810 Classic) 의 주요 특징 중 하나는 고급 빔라인 머신으로, 초점, 조향 및 이온 빔을 뛰어난 정밀도로 배치하는 여러 정전기 및 자기 요소를 포함합니다. 이를 통해 공구는 스팟 크기를 몇 미크론 (micron) 까지 달성하여 서브 미크론 장치 제작 및 고해상도 임플란테이션이 필요한 다른 까다로운 어플리케이션에 적합합니다. 비이스타 810 클래식 (VIISta 810 Classic) 은 이온 이식 기능 외에도, 이식 프로세스에 대한 실시간 피드백을 제공하는 종합적인 모니터링 자산을 갖추고 있습니다. 여기에는 빔 전류 모니터링 (beam current monitoring), 빔 프로파일 분석 (beam profile analysis) 및 이식 매개변수가 원하는 사양 내에 있는지 확인하는 용량 제어 기능이 포함됩니다. 이 모델은 또한 고급 레시피 관리 (Recipe Management) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 제공하여 향상된 장치 성능 및 생산성을 위해 임플랜테이션 프로세스를 추적 및 최적화할 수 있습니다. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 810 Classic은 사용자 친화적 인 인터페이스 및 소프트웨어 제어 장비로 작동을 단순화하고 이식 레시피를 쉽게 설정할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 원격 진단 (Remote Diagnostics) 및 유지 관리 (Maintenance) 기능을 통해 문제를 신속하게 해결하고 다운타임을 최소화하여 생산성을 높일 수 있습니다. 전반적으로 AMAT VIISta 810 Classic은 반도체 도핑 어플리케이션에 탁월한 정밀도, 유연성, 신뢰성을 제공하는 최고의 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 첨단 기술과 탁월한 성능을 자랑하는 반도체 (Semiconductor) 제조업체들은 최고의 수준의 장치 성능 (Device Performance) 을 달성하고 제작 프로세스 (Fabrication Process) 를 실현하고자 하는 필수 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다