판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292219
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판매
ID: 9292219
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source head
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1 (Removed)
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4 (Removed)
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly, P/N: E11084141
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens assembly and ES decel
Process chamber module:
Angle cup, P/N: E11127951
Roplat kit
BROOKS AUTOMATION 354019-TD-T Vacuum gauge
(3) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) GENESIS ICP 320 LQ Pumps
(2) GENESIS HC80 Cryo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100N Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
Remote PD CVCF assy
Remote rack
Missing parts:
Controller mass flow, 0-3 SCCM, PH3, 4RA P/N: E23000350
Controller mass flow, N2 calibration 5 SCCM P/N: E23000101
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Advanced platen, P/N: E11368067
Dual PFG power supply controller assembly, P/N: E11092090
Quad lens, P/N: E11289020.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP는 연구 및 제조 용도로 설계된 고성능 컴퓨터 제어 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 반도체 이온 이식 (ion implantation) 을 포함한 다양한 처리 응용을위한 신뢰할 수있는 장비입니다. AMAT VIISta 80HP 모델은 모든 표준 이식 작업을 처리 할 수 있습니다. 다재다능하며 평면 또는 수직 또는 돔 조각이 가능합니다. 모양과 크기가 다르고 정밀도가 높은 입자를 처리 할 수 있습니다. 고해상도 디스플레이를 사용하면 이온 빔을 정확하게 프로그래밍, 추적, 모니터링할 수 있습니다. VARIAN VIISTA 80 HP는 사용자 친화적이며 사용자가 쉽게 프로그래밍 할 수있는 강력한 빔 컨트롤 시스템 (beam control system) 을 갖추고 있습니다. 세 가지 유형의 빔 조작 (beam manipulation) 을 통해 빔은 처리 응용 프로그램의 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. "빔 '은 편향 되고, 초점 을 맞출 수 있으며, 필요 하다면" 빔' 동력 을 조정 할 수 있다. BTO (Beam Turn-off Device) 를 포함하여이 장치의 고정밀 빔 모니터링 및 제어 기계는 대상 입자의 정확하고 심지어 임플란테이션을 보장합니다. VARIAN VIISta 80HP는 또한 클로즈드 루프 (closed-loop) 컴퓨터 제어 펌핑 도구를 사용하여 효과적이지만 깨끗한 임플란테이션을 위해 높은 진공 조건을 허용합니다. 온도 조절 에셋은 임플란테이션 챔버 (implantation chamber) 에서 일관된 온도를 보장하여 성능을 최적화합니다. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP는 정밀도 및 제어가 뛰어난 깨끗하고 정확한 이온 임플란테이션을 제공합니다. 활성 영역 모니터는 빔의 위치와 강도에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 또한 통합 서피스 프로파일 모니터와 함께 웨이퍼 서피스 프로파일 (wafer's surface profile) 에 대한 정확한 정보를 제공합니다. 또한, 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스, 프로그래밍 가능한 레시피, 데이터 저장 및 검색 등의 다른 기능이 제공됩니다. VIISTA 80 HP는 임플란테이션 기반 처리를 위한 안정적이고 강력한 모델입니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 향상된 빔 조작으로 뛰어난 제어, 정확성을 제공합니다. 많은 기능으로, 연구 및 생산 응용 분야에 적합합니다.
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