판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292218
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판매
ID: 9292218
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module: Roplat kit
(4) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
EDWARD SCU-1600 Turbo pump controller
EDWARD SCU-1500 Turbo pump controller
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pump
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
CVCF PD, P/N: E19009490
Remote rack
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Angle cup assy, P/N: E11127951
Setup cup PCB, P/N: E11084150
TMC A2 Board, P/N: E11559860
TMC A4 Board, P/N: E12013370
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
ESC, P/N: E11368067
Source isolation controller, P/N: E11106222
Twist motor, P/N: E11130962
Loadlock vent pressure regulator, P/N: E33000355
LP2 ST32 Board P/N: 013501-167-27
Buffer robot controller fuse.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP는 반도체 칩 생산에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 그 장치 는 "웨이퍼 '표면 에" 이온' 을 심어 그 전기 특성 을 변화 시키는 데 사용 된다. AMAT VIISta 80HP (AMAT VIISta 80HP) 는 고급 임플란터로, 광범위한 재료와 조건에서 이온을 정확하고 일관되게 이식 할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 성능 기능이 있습니다. 붕소, 인, 비소, 안티모니를 다른 이온과 함께 이식 할 수 있으며, 최대 100 킬로 전자 vetts 에너지에서 작동 할 수 있습니다. 또한 균일 성은 + - 1%, 정확도는 0.1% 에서 0.01%, 더 큰 임플란트 영역의 경우 1 nm 이상입니다. 이 장치는 시간당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리합니다. 즉, 초당 최대 8 백만 이온을 이식 할 수 있습니다. 또한 VARIAN VIISTA 80 HP에는 종합적인 모니터링 및 제어 시스템이 있습니다. 전압· 전류 램프를 필요에 따라 모니터링· 조정할 수 있는 실시간 에너지 판독장치를 탑재했다. 또한 실시간 동적 범위 조정 (dynamic range adjustment) 을 통해 이식 된 이온이 원하는 범위 내에 유지되도록 합니다. 특정 애플리케이션에 따라 VIISta 80HP의 성능 및 모니터링도 조정할 수 있습니다. 트리플 필터 관리 시스템 (Triple Filter Management System) 은 원하는 임플란트 용량을 유지하면서 성능을 최적화하고 결함을 최소화하도록 설계되었습니다. 세 개의 통합 채널을 결합하여 여러 매개 변수를 정확하게 제어합니다. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP는 또한 물 및 배기 요구 사항이 낮기 때문에 폐기물 및 배출량을 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 장치는 자가 모니터링 (self-monitoring) 및 자가 수정 (self-correcting) 작업을 수행할 수 있으며 단일 플러그 및 전원 콘센트에서 작동할 수 있습니다. 이것은 생산 라인에 에너지 효율적인 선택입니다. 전반적으로 VARIAN VIISta 80HP는 강력하고 신뢰할 수있는 이온 이식 장치입니다. 이 장치는 정확하고 일관된 작동이 가능하며, 에너지 효율성을 통해 운영 라인 (production line) 애플리케이션을 위한 탁월한 선택이 가능합니다. 종합적인 모니터링 및 제어 시스템을 통해 AMAT VIISTA 80 HP는 임플란트가 정확하고 일관되게 수행되도록 할 수 있습니다.
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