판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292217
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판매
ID: 9292217
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source removed
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beam-line module:
90° Magnet assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module:
Angle cup: E11127951
Roplat kit
(2) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assembly, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Beam gate assembly, P/N: E11084150
Supply interface PCB, P/N: E15003820
Orient assembly, P/N: E11320430
PMC A3 Board, P/N: E11559950
Left PRI Robot, P/N: E40001450
ESC, P/N: E11368067
Bipolar switch box, P/N: E11335731
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
QUAD2 Power supply, P/N: E19297910
D2 Power supply, P/N: E11326011
Source isolation controller, P/N: E11106222
K2 Relay, P/N: E65000649
(3) ADIO, P/N: E11292270
PFG Controller, P/N: E11092090
V17 Valve, P/N: E32000150
Scan motor assembly, P/N: E11061452
L/P Clamp assembly
ARC Power supply CABLE, P/N: E16135690
IG2 Gauge, P/N: 354019-TD-T
(2) IG3 Gauges, P/N: 354019-TD-T
G2 Gauge, P/N: E33000206
G3 Gauge, P/N: E33000206
G10 Gauge, P/N: E33000206.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP Ion Implanter and Monitor는 반도체 제조 산업에서 널리 사용되는 고정밀 기기입니다. 고정밀도 이온 이식 (ion implantation) 및 정확한 증착 모니터링 (deposition monitoring) 을 실행할 수있는 강력한 도구입니다. AMAT VIISta 80HP는 3 개의 별개의 빔 소스를 사용하여 이온을 다양한 반도체 재료에 이식합니다. 여기에는 붕소, 인, 비소 및 안티몬이 포함됩니다. 모니터는 X 선 검출기로 구성되며, 이 검출기는 이식 공정으로 생성되는 X 선 강도를 측정하는 데 사용됩니다. 3 개의 별개의 소스의 조합을 통해, 반도체 장치의 특성을 최적화하기 위해 정확한 이온 이식 (ion implantation) 패턴을 달성 할 수있다. VARIAN VIISTA 80 HP는 이온 이식 외에도 정확한 증착 모니터링을 제공합니다. 증착 과정에서 X 선 검출기는 증착 된 레이어의 두께를 측정하는 데 사용됩니다. 이를 통해 반도체 장치의 성능 최적화를 위해 레이어의 두께가 정해졌음을 알 수 있습니다 (영문). 제어 및 정확성과 관련하여 APPLIED MATERIALS VIISta 80HP는 최고 수준의 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 그것 에는 여러 가지 "컴퓨터 '가 들어 있는데, 이것 은 높은 수준 의 정확도 와 정확도 를 제공 할 수 있다. 컴퓨터 시스템은 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 통합되어 있어 간단하고 쉽게 조작할 수 있습니다. 또한, 시스템은 고급 모니터링 시스템 (Advanced Monitoring System) 을 사용하여 이식 프로세스 중에 발생할 수 있는 문제를 쉽게 감지할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP는 고성능 이온 임플란터 및 모니터입니다. 정밀한 이온 임플란테이션을 실행하고 증착 프로세스를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 매우 정확한 모니터링 시스템 (monitor system) 은 반도체 산업에 이상적인 도구입니다.
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