판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9244856

VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80
ID: 9244856
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Ion implanter, 12" 2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80은 고급 이온 임플란터 및 모니터입니다. 다양한 반도체 생산 및 프로세스 응용 프로그램에 사용됩니다. 이 장비는 반도체 웨이퍼 (wafer) 나 기판에 이온을 매우 정확하게 이식하고 모니터링 할 수 있습니다. 그것 은 장기간 "이온 '을 일관성 있고 고품질 로 이식 하는 것 을 보장 한다. AMAT VIISta 80에는 고급 전자 패키지 보드와 강력한 마이크로 프로세서가 장착되어 있습니다. 이식 된 이온의 프로파일을 모니터링하고, 프로세스 성능을 최적화하기 위해 실시간으로 조정하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 임플란테이션 (implantation) 프로세스의 불규칙성을 모니터링할 수 있는 분석 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 고급 안전 (Advanced Safety) 기능이 장착되어 있어 사고 없이 프로세스가 수행됩니다. VARIAN VIISta 80에는 3 차원 동작 기능이있는 고급 웨이퍼 처리 장치가 있습니다. 효율적인 운영 및 사용 편의성을 위해 직관적이고 사용자 친화적 인 디자인이 있습니다. 또한, 혁신적인 자기 구동 베어링 (magnetic drive bearing) 은 모터를 부드럽게 작동시켜 웨이퍼 파손을 최소화하고 입자 오염을 최소한으로 유지합니다. VIISta 80 에는 사용자의 요구에 따라 사용자 정의할 수 있는 몇 가지 운영 모드가 있습니다. 이식 요구에 따라 다른 이식 속도와 전압을 제공하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 이 머신에는 데이터 시트 빌더 (Datasheet builder) 옵션이 있어 다른 웨이퍼에 대한 처리 매개변수를 편리하게 저장하고 구성할 수 있습니다. 최대 성능을 위해 APPLIED MATERIALS VIISta 80에는 이온 액체 펌프를 사용하는 냉각 도구가 있습니다. 이 "펌프 '는 자산 전체 에 걸쳐 일정한 온도 를 유지 하도록 착상 과정 중 에 발생 하는 열 을 발산 시키는 데 도움 이 된다. 또한, 실험실의 다른 기기와의 원활한 통합을위한 명령 줄 인터페이스가 있습니다. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80의 설계, 기능 및 성능은 이온 이식 및 모니터링이 필요한 모든 프로덕션 또는 프로세스 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 또한 효율적이고 안정적인 '운영' 을 통해 장기간 일관되고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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