판매용 중고 VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9243147

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80은 반도체 제작 공정을 위해 설계된 고급 이온 임플란터 및 모니터입니다. 고급 기능을 사용하면 이온 빔 에너지, 각도, 전류 밀도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면, 제조 공정 에 사용 되는 기판 재료 를 매우 정밀 하게 도핑 할 수 있다. AMAT VIISta 80은 기판 재료에 이온 빔을 빠르고 정확하게 정렬하기위한 4 축 스캔 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 배치 처리, 다중 패스 처리, 사용자 지정 (custom implanting) 등 다양한 사용자 선택 가능한 작업 모드를 제공합니다. 또한, 응용 프로그램의 특정 요구를 충족하도록 이온 빔을 사용자 정의 할 수 있습니다. VARIAN VIISta 80에는 다양한 모니터링 기능도 있습니다. 여기에는 빔 전류 모니터, 임플란트 전류 모니터, 온도 및 압력 센서, 임플란트 깊이를 시각화하는 X 선 모니터가 포함됩니다. 또한 웨이퍼 표면을 가로 질러 임플란트 깊이의 균일성을 모니터링합니다. APPLIED MATERIALS VIISta 80의 IMF (Intermediate Mass Filter) 는 이식 된 이온 빔의 정확한 필터링을 제공합니다. 그것 은 미량 원자 나 중입자 와 같은 원치 않는 "이온 '종 들 을 제거 하는 데 도움 이 되며, 그것 은 원하는 종 들 만 기질 에 이식 되도록 한다. 이것은 임플란트 손상을 최소화하고 고품질 도핑 레벨을 산출하는 데 도움이됩니다. VIISta 80 소프트웨어는 프로세스 조건을 최적화 할 수 있습니다. 최적화된 기판에 대한 다양한 매개변수 (예: 가스 압력, 전압) 를 제어하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 최적의 처리 조건을 위해 레시피를 만들고 저장하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 VIISta 소프트웨어 인터페이스를 통해 상세한 시스템 성능 보고서를 쉽게 생성할 수 있습니다. 간단히 말해, VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80은 반도체 제조 프로세스에 최적화된 고급 이온 임플랜터이며 모니터입니다. 4축 스캐닝 기능, 사용자가 선택할 수 있는 작동 모드 (Mode of Operation), 모니터링 기능, 중간 질량 필터 (Intermediate Mass Filter) 및 최적화된 소프트웨어 (Optimized Software) 는 제조 프로세스에 사용되는 기판 재료의 정밀 도핑을 위한 강력한 도구입니다.